[发明专利]操作引线接合机的夹持系统的方法

说明书

相关申请的交叉引用

本申请要求2009年7月20日提交的美国临时申请No.61/226921的优先权，该申请的内容通过引用包含在此。

技术领域

本发明涉及引线接合机，更特别地讲涉及操作引线接合机上的夹持系统的改进方法。

背景技术

在半导体装置的加工和封装中，引线接合仍是在封装内的两个位置之间(例如，在半导体芯片的芯片焊盘与引线框的引线之间)提供电互连的主要方法。更具体地讲，通过使用引线接合器(也称作引线接合机)，线环形成在要电互连的相应的位置之间。

示例性的传统引线接合机包括换位系统，所述换位系统用于通过使用抓具或类似物在供给位置(例如仓操纵器)与接合位置之间移动工件(例如，引线框上的半导体芯片)。示例性的换位系统包括轨或类似物，工件在换位过程中沿着所述轨或类似物移动。当工件达到接合位置时，支撑表面例如热台被升高，以达到工件的下侧。装置夹具(也称作线夹或焊线压板)被下降，以从上方固定工件。装置夹具限定出孔眼，引线接合操作通过所述孔眼完成。图1A示出了工件100，所述工件100沿着轨102移动。在该引线接合位置，热台104已被升高，以达到工件100的下表面。装置夹具106已被下降，以将工件100固定到热台104上。在该闭合位置(即，使热台104处于升高位置，装置夹具106处于降低的位置)，线环100a在引线接合操作中形成。

在引线接合操作完成之后(或在引线接合操作的一部分完成之后)，工件被移动。例如，整个工件的引线接合可能是完成的，且工件要被移动到后接合位置。可选地，工件的一部分的引线接合可能完成，但工件的另一部分仍需要引线接合。为了引线接合工件的其他部分，工件被移动。

在这两种情况中的任一种情况下，为了移动工件(例如沿着轨)，装置夹具被升高到打开位置，热台被下降到打开位置。参看图1B，装置夹具106已被升高到打开位置，热台104已被下降到打开位置。这些打开位置被预定，以便具有足够的间隙使得工件(包括接合到工件上的线环)可沿着轨移动。

不幸的是，当装置夹具106和热台104移动到图1B所示的预定打开位置时，可能产生某些问题。例如，由于工件100(例如引线框100)的非均匀的热膨胀，工件100可弯翘(这种弯翘在图1B中以“BUCK”表示)，从而引起不利的振动(这种振动在图1B中以“VIB”表示)。而且，工件100的不可控的弯翘也可例如在换位过程中在工件100上的线环100a与装置夹具106之间引起接触(这种接触在图1B中以“CONT”表示)。

因此，希望为引线接合机提供操作夹持系统的改进方法。

发明内容

根据本发明的一个示例性实施例，提供了一种操作引线接合机的方法。所述方法包括以下步骤：(1)通过引线接合机的装置夹具提供固定在接合位置的工件；(2)将装置夹具在工件上方升高到第一高度，装置夹具在第一高度处保持第一预定时段；以及(3)在步骤(2)之后将装置夹具在工件上方升高到第二高度，所述第二高度比第一高度更远离工件。

根据本发明的另一个示例性实施例，提供了一种操作引线接合机的方法。所述方法包括以下步骤：(1)通过引线接合机的热台提供支撑在接合位置的工件；(2)将热台在工件下方降到第一位置，所述热台在第一位置保持第一预定时段；以及(3)在步骤(2)之后将热台在工件下方降到第二位置，所述第二位置比第一位置更远离工件。

附图说明

下面，通过参看附图阅读详细的描述，可最好地理解本发明。应当强调，根据公知常识，图的各个特征并不是成比例的。相反，为了清楚起见，各个特征的尺寸任意地扩大或减小。附图包括：

图1A是通过热台和装置夹具被固定在位的工件的侧视简图；

图1B是图1A的工件的侧视简图，其中，热台和装置夹具处于完全打开的位置；

图2A是通过热台和装置夹具被固定在位的工件的侧视简图，用于解释本发明的各个示例性实施例；

图2B是图2A的工件的侧视简图，其中，根据本发明的一个示例性实施例的热台和装置夹具处于部分打开的位置；

图2C是图2A的工件的侧视简图，其中，根据本发明的一个示例性实施例的热台和装置夹具处于完全打开的位置；

图3是时序图，示出了装置夹具和热台的传统操作中的状态；

图4是时序图，示出了根据本发明的一个示例性实施例的装置夹具和热台的状态；以及

图5-19是根据本发明的各个示例性实施例的操作引线接合机的各种方法。

具体实施方式