[发明专利]图像补偿可寻址的静电卡盘系统

权利要求书

1.一种静电卡盘，包括：

基底；

多个第一电极，设置在基底上并且沿第一方向均匀地间隔开；

多个第二电极，设置在基底上、定位在由多个第一电极限定的区域内并且沿第二方向均匀地间隔开，所述第二方向与第一方向大体正交；和

支撑层，设置在多个电极上方以支撑物体，

其中多个第一电极和第二电极的位置交叠部分形成静电作用力点的矩阵，使得在给与给定作用力点相关的多个第一电极和第二电极对通电时，不均匀静电作用力在给定作用力点的附近作用在所述物体上。

2.如权利要求1所述的静电卡盘，其中多个第一电极和第二电极包括由线性电极带构成的间隔分开的正交的电极图案。

3.如权利要求1所述的静电卡盘，其中多个第一和第二电极中的每个电极的通电水平是基于补偿数据组的。

4.如权利要求3所述的静电卡盘，其中由通过静电卡盘校正的误差测量得出补偿数据组。

5.如权利要求3所述的静电卡盘，其中补偿数据组被修改为在与卡盘平台扫描速率一致的速率条件下的扫描位置的函数。

6.如权利要求1所述的静电卡盘，其中多个第一和第二电极包括电极图案，所述电极图案包括能够独立地电寻址的像素的二维阵列。

7.如权利要求6所述的静电卡盘，其中通过一补偿数据组具有沿第一方向而不是第二方向变化的识别标志而另一补偿数据组具有沿第二方向而不是第一方向变化的识别标志的方式对所述二维阵列电寻址。

8.如权利要求6所述的静电卡盘，其中通过一补偿数据组具有沿第一方向而不是第二方向变化的识别标志而另一补偿数据组具有沿第一方向和第二方向变化的识别标志的方式对所述二维阵列电寻址。

9.如权利要求1所述的静电卡盘，其中多个第一电极的间隔与多个第二电极的间隔基本上不同。

10.如权利要求1所述的静电卡盘，其中：

多个第一电极沿第一方向不均匀地间隔；并且

多个第二电极沿第二方向不均匀地间隔，所述第二方向与所述第一方向大体正交。

11.如权利要求10所述的静电卡盘，其中多个第一电极的间隔与多个第二电极的间隔大体不同。

12.如权利要求1所述的静电卡盘，其中所述物体是掩模版。

13.如权利要求1所述的静电卡盘，其中所述物体是晶片。

14.一种光刻系统，包括：

掩模版支撑结构，配置成将掩模版夹持在辐射束的路径内以使得掩模版形成图案化的束；

投影系统，配置成将图案化的束投影到衬底的目标部分上；

衬底支撑结构，配置成在光刻过程中支撑衬底；和

耦合至掩模版支撑结构的静电卡盘，所述静电卡盘包括：

卡盘基底；

多个第一电极，设置在卡盘基底上并且均匀地沿第一方向间隔开；

多个第二电极，设置在卡盘基底上、定位在由多个第一电极限定的区域内以及均匀地沿第二方向间隔开，所述第二方向与所述第一方向大体正交；和

支撑层，设置在多个电极上方以支撑物体，

其中多个第一电极和第二电极的位置交叠部分形成静电作用力点的矩阵，使得在给与给定的作用力点相关的多个第一电极和第二电极对通电时，不均匀静电作用力在给定作用力点的附近作用在所述物体上。

15.如权利要求14所述的光刻系统，其中多个第一和第二电极包括由线性电极带构成的间隔分开的正交的电极场。

16.如权利要求14所述的光刻系统，其中多个第一和第二电极包括电极图案，所述电极图案包括能够独立地电寻址的像素的二维阵列。