[发明专利]复合氧化物粉末的制造方法以及复合氧化物粉末

说明书

技术领域

本发明涉及复合氧化物粉末的制造方法以及复合氧化物粉末，更详细而言，涉及用于陶瓷电容器的电子部件材料的复合氧化物粉末的制造方法、通过该制造方法制造的复合氧化物粉末。

背景技术

近年来，随着电子设备的小型化，要求用于其的电子部件的小型化。另外，作为电子部件的代表之一的层叠陶瓷电容器，也在进行小型、大容量化。另外，在能够实现该小型、大容量化的技术中，具有：电介质层(陶瓷层)的薄层化和多层化。

目前，实现了电介质层的厚度为约1μm、层叠数超过800层这样的层叠电容器实用化。

另外，为了使层叠电容器进一步小型化，需要进行薄层化直至使电介质层的厚度达到1μm以下的亚微米的范围，为了实现亚微米的厚度的电介质层，需要将构成电介质层的陶瓷烧结体的粒径微小至100nm以下。

但是，已知：在构成电介质层的陶瓷烧结体(例如，BaTiO₃系陶瓷)的粒径变微小时，介电常数降低。该介电常数的降低由陶瓷烧结体的结晶性(结晶轴的c轴相对于a轴的比(c/a轴比))的降低引起。

为了解决这些问题，作为形成电介质层的、烧结前的原料粉末(例如，钛酸钡系材料的预烧((仮焼))粉末)，需要使用其粉末自身的粒径微小、且结晶性高的原料粉末。

因此，为了得到微小、且结晶性高的钛酸钡粉末，提出了将预烧时的升温速度设定为30℃/分钟(0.5℃/秒)以上的复合氧化物粉末的制造方法(参照专利文献1)。

另外，通过使用利用该复合氧化物粉末的制造方法得到的、粉体自身的粒径微小、且结晶性高的复合氧化物粉末，可以得到烧结体的结晶粒径微小、且εr高的电介质。

但是，实际情况是：通过上述专利文献1的方法得到的复合氧化物粉末的平均粒径为约0.3μm，无法对应直至亚微米的范围的电介质层的薄层化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-8471号公报

发明内容

发明所要解决的问题

本发明是解决上述课题的发明，其目的在于提供一种复合氧化物的制造方法以及通过该方法制造的微小且结晶性高的复合氧化物，其中，所述复合氧化物的制造方法，能够高效地制造在微小、并且例如以比表面积计为20m²/g(以比表面积相当径计为50nm)的情况下、结晶轴的c轴相对于a轴的比(c/a轴比)为1.007以上这样的结晶性(正方晶性)高的、由通式：ABO₃表示的具有钙钛矿型结构的复合氧化物粉末。

解决问题的手段

本发明的复合氧化物粉末的制造方法，用于制造作为A位元素包含Ba以及Ca中的至少一种、作为B位元素至少包含Ti，且由通式：ABO₃表示的具有钙钛矿型结构的复合氧化物粉末，其特征在于，在对以预烧后得到上述由通式：ABO₃表示的具有钙钛矿型结构的复合氧化物的预烧粉末的方式进行调合的调合原料进行预烧的预烧工序中，从预烧开始至达到预烧最高温度期间，将升温速度设为1000℃/分钟以上。

本发明的复合氧化物粉末的制造方法中，优选将上述升温速度设为2400℃/分钟以上。

另外，通过本发明的方法制造的复合氧化物粉末，优选为由通式：(Ba_1-xCa_x)TiO₃(其中，x＝0～0.15)表示的复合氧化物粉末。

另外，本发明的复合氧化物粉末的制造方法中，优选在达到最高温度后，进行冷却而不进行温度保持。

另外，本发明的复合氧化物粉末的制造方法中，优选在上述预烧工序前具备：将含有包含上述A位元素的A位元素化合物、和包含上述B位元素的B位元素化合物的陶瓷原料进行混合粉碎的工序。

另外，本发明的复合氧化物粉末，其特征在于，是通过上述的本发明的制造方法制造的具有钙钛矿型结构的复合氧化物粉末。

发明效果

本发明的复合氧化物粉末的制造方法，在对以预烧后得到由通式：ABO₃表示的具有钙钛矿型结构的复合氧化物的预烧粉末的方式进行调合的调合原料进行预烧的预烧工序中，将从预烧开始至达到预烧最高温度期间的升温速度设为1000℃/分钟以上，因此，能够缩短预烧时间，并且可以抑制形成异相，从而能够高效地制造微小、且结晶性(正方晶性)高的复合氧化物粉末(预烧粉末)。