[发明专利]一种用于喷墨打印机的微流致动器

权利要求书

1.一种微流致动器，包括：

(a)流体流入的入口通道；

(b)从所述入口通道接收流体的舱室；

(c)出口通道，其接收来自所述舱室的流体并且流体流过出口通道以便流体的管道路径由入口通道、舱室和出口通道形成；

(d)形成所述舱室的墙壁的一部分并响应于流体压力移置的弹性膜；以及

(e)所述管道路径中的至少一个第一阀门，当阀门被激活时，引起所述流体流经所述管道路径的流动将被改变以便流经舱室的流体压力改变，接着引起弹性膜移置。

2.根据权利要求1所述的微流致动器，其中所述第一阀门配置在出口通道上，并且所述第一阀门的激活引起所述弹性膜从所述舱室的内部向外移置。

3.根据权利要求2所述的微流致动器，其中所述第一阀门的部分激活引起所述弹性膜的第一移置，并且所述阀门的完全激活引起所述弹性膜的第二移置，所述第二移置大于所述第一移置。

4.根据权利要求1所述的微流致动器，其中当所述第一阀门配置在出口通道上时，所述第一阀门未被致动，所述弹性膜从所述舱室的内部既不向内移置也不向外移置。

5.根据权利要求1所述的微流致动器，其中所述的第一阀门配置在所述入口通道上，并且第二阀门配置在所述出口通道上。

6.根据权利要求5所述的微流致动器，其中当所述第一阀门被激活时，所述弹性膜朝向所述舱室的内部向内移置。

7.根据权利要求6所述的微流致动器，其中所述的第二阀门未被激活。

8.根据权利要求5所述的微流致动器，其中当所述第二阀门被激活时，所述弹性膜从所述舱室的内部向外移置。

9.根据权利要求8所述的微流致动器，其中所述第二阀门的部分激活引起所述弹性膜的第一移置，并且所述第二阀门的完全激活引起所述弹性膜的第二移置，所述第二移置大于所述第一移置。

10.根据权利要求9所述的微流致动器，其中所述第一阀门未被激活。

11.根据权利要求1所述的微流致动器，其中所述第一阀门配置在所述入口通道上。

12.根据权利要求11所述的微流致动器，其中所述第一阀门的部分激活引起第一移置，并且所述阀门的完全激活引起第二移置，所述第二移置大于所述第一移置。

13.根据权利要求1所述的微流致动器，其中具有较低弹性系数的所述弹性膜产生更大的移置。

14.根据权利要求1所述的微流致动器，其中所述弹性膜由电介质材料制成。

15.根据权利要求14所述的微流致动器，其中所述电介质材料是氮化硅。

16.根据权利要求14所述的微流致动器，其中所述电介质材料是氧化硅。

17.根据权利要求14所述的微流致动器，其中所述电介质材料是碳化硅。

18.根据权利要求1所述的微流致动器，其中所述弹性膜由硅制成。

19.根据权利要求1所述的微流致动器，其中所述弹性膜由聚合物制成。

20.根据权利要求19所述的微流致动器，其中所述聚合物是聚酰亚胺。

21.根据权利要求1所述的微流致动器，其中所述弹性膜由金属或金属合金制成。

22.根据权利要求21所述的微流致动器，其中所述金属是钽金属。

23.根据权利要求1所述的微流致动器，其中所述弹性膜的厚度小于所述弹性膜最小宽度的1/5。

24.根据权利要求1所述的微流致动器，其中所述弹性膜的厚度小于10微米。

25.根据权利要求1所述的微流致动器，其中所述阀门是压电致动器。