[发明专利]微机械构件和微机械构件的制造方法

说明书

本发明涉及权利要求1前序所述的一种微机械构件，此外本发明还涉及一种微机械构件的制造方法。

背景技术

微机械构件通常具有静电的和/或电磁的驱动器，该驱动器可用来使至少一个可调整的元件相对于微机械构件的支架绕至少一个旋转轴线调整。这种微机械构件例如可以设计成微镜。下面以尚未公布的申请EP 08400007.4的微镜作为微机械构件的例子进行说明：

附图1所示为一种常规微镜的示意图。

所示的微镜具有一个作为可调元件的镜板10，该镜板可以相对于(没有绘出的)支架绕第一旋转轴线12和第二旋转轴线14调整。镜板10通过两个沿着第一旋转轴线12延伸的内弹簧16与内框架18相连。在内框架18的两个相对置的部位上固定有沿着第二旋转轴线14延伸的梁20。两个梁20中的每一个均在其与内框架18相反的一端通过沿着第二旋转轴线14延伸的外弹簧22与支架相连。

此外还在每一个梁20上布置一个外部执行器电极组件24和一个内部执行器电极组件26。外部执行器电极组件24包括在对应的梁20两侧垂直于第二旋转轴线14延伸的电极指24a。内部执行器电极组件26的电极指26a和26b也垂直于第二旋转轴线14，其中，电极指26a布置在第二旋转轴线14的第一侧，电极指26b布置在第二旋转轴线14的第二侧。在附图1所示的示例中，外部执行器电极组件24的电极指24a具有不变的长度。内部执行器电极组件26的电极指26a和26b的长度随着与内框架18之间距离的增大而减小。

在支架上分别固定有两个外部定子电极组件28和两个内部定子电极组件30。每个外部定子电极组件28与一个对应的外部执行器电极组件24相邻布置。相应地，两个内部定子电极组件30中的每一个对应于一个内部执行器电极组件26。每一个定子电极组件28和30包括一些电极指28a、30a和30b。

在所示的微镜中，可以在一个外部执行器电极组件24的电极指24a与对应的外部定子电极组件28的电极指28a之间施加不等于零的第一电压。如果在外部电极组件24和28的布置于第一旋转轴线12第一侧的电极指24a和28a之间施加第一电压，则使镜板10绕第一旋转轴线12朝向第一旋转方向调整。相应地，如果在第一旋转轴线12第二侧在外部电极组件24和28的电极指24a和28a之间施加第一电压，则使镜板10绕旋转轴线12朝向第二旋转方向转动。

内部电极组件26和30的电极指26a、26b、30a和30b可以这样接触，使得只能在两个内部电极组件26和30的布置于第二旋转轴线14第一侧的电极指26a和30a之间施加第二电压。也可以与此无关地仅在两个内部电极组件26和30的布置于旋转轴线14第二侧的电极指26b和30b之间施加第二电压。根据在布置于第二旋转轴线14第一侧的电极指26a和30a之间还是在布置于旋转轴线14第二侧的电极指26b和30b之间施加第二电压而定，镜板10被绕第二旋转轴线14朝一确定的旋转方向调整。

为了更好地说明附图1所示常规微镜的缺点，参考下面的附图。

图2A和2B是附图1所示常规微镜的外部执行器电极组件的横截面。

图2A和2B的示意图中，在外部执行器电极组件24的电极指24a与外部定子电极组件28的电极指28a之间施加等于零的第一电压U1。在附图2A中，可在内部电极组件26和30的电极指26a和30a之间或者电极指26b和30b之间施加的第二电压U2也等于零。在可施加的电压U1和U2均为零的无电压状态下，外部电极组件24和28的电极指24a和28a相互平行地处在两个不同的平面中。此时也可说，外部电极组件24和28的电极指26a和28a在无电压状态下处于面外(Out-Of-Plane)布置。