[发明专利]钽构件的渗碳处理方法和钽构件

权利要求书

1.一种钽构件的渗碳处理方法，其为用于对具有平面部的由钽或钽合金构成的钽构件实施使碳从该构件的表面向内部渗透的渗碳处理的方法，其特征在于，包括：

通过以前端部形成锥状的多根支撑棒支撑所述平面部，将所述钽构件配置于存在有碳源的腔室内的工序；和

通过将所述腔室内减压并加热，使来自所述碳源的碳从所述钽构件的表面渗透以实施渗碳处理的工序。

2.如权利要求1所述的钽构件的渗碳处理方法，其特征在于：

以所述各支撑棒的所述前端部大致均等地支撑所述整个平面部的方式，将所述多根支撑棒分散配置。

3.如权利要求1或2所述的钽构件的渗碳处理方法，其特征在于：

以所述平面部的每1500mm²的面积由1根以上的支撑棒支撑的方式支撑所述平面部。

4.如权利要求1～3中任一项所述的钽构件的渗碳处理方法，其特征在于：所述支撑棒具有作为所述碳源的功能。

5.如权利要求1～4中任一项所述的钽构件的渗碳处理方法，其特征在于：通过由支撑台支撑所述支撑棒的基部，而将所述多根支撑棒设置在所述支撑台上，并通过将所述支撑台载置在所述腔室内的底面部上，而将所述多根支撑棒配置在所述腔室内。

6.如权利要求5所述的钽构件的渗碳处理方法，其特征在于：

所述支撑台具有作为所述碳源的功能。

7.如权利要求1～6中任一项所述的钽构件的渗碳处理方法，其特征在于：所述腔室具有作为所述碳源的功能。

8.如权利要求1～7中任一项所述的钽构件的渗碳处理方法，其特征在于：所述钽构件为钽容器，该钽容器具有所述平面部、和从所述平面部在大致垂直方向上延伸的侧壁部，并且通过所述侧壁部的端部形成有开口部。

9.如权利要求8所述的钽构件的渗碳处理方法，其特征在于：

以所述钽容器的所述开口部位于下方的方式，在所述腔室内配置所述钽容器，并以所述多根支撑棒支撑所述钽容器内侧的所述平面部。

10.一种钽构件，其特征在于：

通过权利要求1～9中任一项所述的方法实施了渗碳处理。

11.一种渗碳处理用夹具，其是在权利要求5或6所述的渗碳处理方法中使用的夹具，其特征在于：

具有所述多根支撑棒和所述支撑台，所述支撑棒和所述支撑台由石墨材料形成。

12.一种钽容器的渗碳处理方法，其特征在于：

其是用于对由钽或钽合金构成的钽容器，实施使碳从该容器的表面向内部渗透的渗碳处理的方法，该钽容器具有底面部、和从所述底面部在大致垂直方向上延伸的侧壁部，并且通过所述侧壁部的端部形成有开口部，

该渗碳处理方法包括：

在存在有碳源的腔室内，以所述钽容器的所述开口部位于下方的方式配置所述钽容器的工序；和

通过将所述腔室内减压并加热，使来自所述碳源的碳从所述钽容器的表面渗透以实施渗碳处理的工序。

13.如权利要求12所述的钽容器的渗碳处理方法，其特征在于：

以在所述钽容器的所述侧壁部端部下方形成间隙的方式将所述钽容器配置在所述腔室内。

14.如权利要求12或13所述的钽容器的渗碳处理方法，其特征在于：通过支撑所述钽容器内侧的所述底面部而在所述腔室内支撑所述钽容器。

15.如权利要求14所述的钽容器的渗碳处理方法，其特征在于：

通过设置在所述腔室内的支撑构件支撑所述钽容器内侧的所述底面部。

16.如权利要求12～15中任一项所述的钽容器的渗碳处理方法，其特征在于：所述腔室具有作为所述碳源的功能。

17.如权利要求15或16所述的钽容器的渗碳处理方法，其特征在于：所述支撑构件具有作为所述碳源的功能。

18.一种钽容器，其特征在于：

通过权利要求12～17中任一项所述的方法实施了渗碳处理。