[发明专利]测量装置有效

专利信息
申请号: 201080022646.X 申请日: 2010-04-28
公开(公告)号: CN102449498A 公开(公告)日: 2012-05-09
发明(设计)人: 依田晴夫;及川克哉;长永兼一 申请(专利权)人: 佳能株式会社
主分类号: G01S7/52 分类号: G01S7/52;G01S15/89;G10K11/34;G10K11/35
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 卜荣丽
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 测量 装置
【权利要求书】:

1.一种测量装置,包括:

探测器,其具有用于将声波转换成电信号的多个元件,所述多个元件至少被布置在第一方向上;

移动机构,用于沿对象表面在与第一方向相交的第二方向上移动探测器;

第一延迟和求和电路,用于在沿第二方向的各单个位置处执行由所述多个元件获得的电信号的延迟和求和,以输出第一相加信号;

信号提取电路,用于使第一延迟和求和电路的输出经过至少一个延迟电路,以并行输出在不同位置处获得的多个第一相加信号;

第二延迟和求和电路,用于执行从信号提取电路输出的所述多个第一相加信号的延迟和求和,以输出第二相加信号;和

图像处理电路,用于通过使用第二相加信号来产生对象内的图像数据。

2.根据权利要求1的测量装置,其中,所述多个第一相加信号是通过电子扫描获得的,所述多个第一相加信号与平行于第一方向并与第二方向相交的切片面中的多个位置对应。

3.根据权利要求2的测量装置,其中,延迟电路的延迟时间被设为与一个切片面的扫描时间段对应的时间。

4.根据权利要求1~3中的任一项的测量装置,还包括多个所述第二延迟和求和电路,并且,所述多个第二延迟和求和电路具有用作延迟和求和的基准的不同的焦点位置。

5.根据权利要求1~4中的任一项的测量装置,其中,第一延迟和求和电路以及第二延迟和求和电路中的至少一个或两个以根据获得每个信号的位置而赋予该信号的权重来执行延迟和求和。

6.根据权利要求1~5中的任一项的测量装置,其中,声波是当在对象内反射从元件发送的声波时产生的反射波。

7.根据权利要求1~5中的任一项的测量装置,其中,声波是在被电磁波照射的对象内引起的光声波。

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