[发明专利]使用光学显微镜和粒子束显微镜的序列对对象进行显微检查

权利要求书

1.一种使用光学显微镜(10)和粒子束显微镜(12)的组合对对象(8)进行显微检查的载物片系统，其特征在于，该系统(1)包括：

导电支架(2)，其中至少一个窗口(3；17、18)形成于该支架(2)中并且其中该支架(2)优选地具有用于光学显微镜(10)的标准玻璃载物片的尺度，

载物片元件(7；19)，其形成为承载用于显微检查的对象(8)并且形成为布置在该窗口(3；17、18)上方，以及

紧固装置(5，6；22，25)，其形成为用于将该载物片元件(7；19)固定在该窗口(3；17、18)上方。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，该支架(2)具有凹槽(16)，该窗口(3；17、18)形成于该凹槽(16)内并且该载物片元件(7；19)可以被插入该凹槽(16)，结果是放置在该窗口(3；17、18)上方的该载物片元件(7；19)定位为与该支架(2)的顶部相比更靠近该支架(2)的底部(4)。

3.根据上述权利要求任一项所述的系统，其特征在于，至少一个对齐标记(14；29)被提供在该支架(2)处，所述对齐标记可以利用光学显微镜(10)探测且也可以利用粒子束显微镜(12)探测。

4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，至少三个对齐标记(30)被提供在该支架(2)处，所述对齐标记固定用于该支架(2)的坐标系。

5.根据权利要求3或4所述的系统，其特征在于，每个对齐标记(30)形成为调适用于两种不同显微放大倍数的双重标记(31，32)。

6.根据上述权利要求中任一项所述的系统，其特征在于，该紧固装置包括连接到紧邻该窗口(3；17、18)的该支架(2)的至少一个夹持装置(22)，用于将该载物片元件(7；19)固定在该窗口(3；17、18)上方。

7.根据上述权利要求中任一项所述的系统，其特征在于，该载物片元件形成为导电格栅(19)。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的系统，其特征在于，该载物片元件形成为盖玻片(7)。

9.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，该紧固装置包括横靠该窗口(3)延伸的轨道(5，6)，该盖玻片(7)可以被插入该轨道内并且因而放置在该窗口(3)上方。

10.根据权利要求8或9所述的系统，其特征在于，该系统包括透明膜(28)，该膜的光学折射率匹配到该盖玻片(7)的折射率并且该膜保护该盖玻片(7)免受用于光学显微镜(10)的浸渍流体(11)影响，结果是所使用的该浸渍流体(11)可以通过剥离该膜(28)而移除。

11.根据权利要求10所述的系统，其特征在于，该膜(28)具有位于一侧上的粘合层，当该膜(28)从该盖玻片(7)剥离时该粘合层仍排它地粘接到该膜(28)。

12.根据权利要求10或11所述的系统，其特征在于，该膜(28)大于该窗口(3)。

13.根据权利要求8或9所述的系统，其特征在于，该系统(1)包括环(26)，该环在其底部上具有橡胶唇状部，其中该环(27)的内部小于该盖玻片(7)，结果是该环(26)可以布置在该盖玻片(7)上方以及供应到用于光学显微镜(10)的该盖玻片(7)的浸渍流体(11)可以通过该橡胶唇状部从该盖玻片(7)剥除。

14.根据上述权利要求中任一项所述的系统，其特征在于，提供适配器(33)，该适配器具有用于将该适配器(33)固定到粒子束显微镜的接收装置的装配装置(34)并且在该适配器上形成支撑表面(35)，该支撑表面包括用于将该支架(2)固定在该支撑表面(35)上的保持装置(36)。

15.根据权利要求14所述的系统，其特征在于，该适配器(33)具有位于该支撑表面(35)下方且位于该装配装置(34)上方的凹槽(37)，用于引入粒子束探测器。

16.根据上述权利要求中任一项所述的系统，其特征在于，该支架(2)具有机械对齐装置，该机械对齐装置形成为对齐光学显微镜(10)和/或粒子束显微镜(12)中的该支架(2)。