[发明专利]用于有机蒸汽印刷的方法和设备有效
申请号: | 201080019410.0 | 申请日: | 2010-05-01 |
公开(公告)号: | CN102414863A | 公开(公告)日: | 2012-04-11 |
发明(设计)人: | 康纳尔·F·马迪根;亚历山大·寿-康·廓;陈江龙 | 申请(专利权)人: | 卡帝瓦公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 陆弋;王伟 |
地址: | 美国,加*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 有机 蒸汽 印刷 方法 设备 | ||
1.一种用于在目标印刷区上印刷具有大体均匀厚度的薄膜的方法,包括:
提供携带汽化材料的第一气流,所述汽化材料限定墨成分并且所述气流具有第一温度;
将所述第一气流引导通过包括多个微孔的喷嘴以形成多个微米级支流,每个支流携带所述汽化材料;
将所述支流引导到衬底上;以及
使所述汽化材料凝结在所述衬底上以形成大体固态的薄膜;
其中所述多个微米级支流相对于彼此定位,以在所述目标印刷区上沉积具有大体均匀薄膜厚度轮廓的薄膜。
2.根据权利要求1所述的方法,其中所述汽化材料进一步包括有机墨。
3.根据权利要求1所述的方法,进一步包括将第二气流引导到所述衬底上,所述第二气流在所述多个支流周围形成流体帘,并且所述流体帘相对于所述微米级支流定位。
4.根据权利要求3所述的方法,其中所述流体帘的温度比所述第一温度低。
5.根据权利要求1所述的方法,进一步包括将所述第一气流引导通过多个微孔喷嘴,每个喷嘴用于形成关联的多个微米级支流。
6.根据权利要求3所述的方法,其中所述多个支流中的至少两个是重叠的。
7.根据权利要求1所述的方法,其中所述衬底的温度比所述第一温度低。
8.根据权利要求1所述的方法,其中所述多个支流彼此独立。
9.根据权利要求1所述的方法,其中所述多个支流被大体连续地输送到所述衬底。
10.根据权利要求1所述的方法,其中所述多个支流被以脉冲方式输送到所述衬底。
11.根据权利要求1所述的方法,其中所述汽化材料基本上不能溶解在所述第一气流或所述第二气流中。
12.一种薄膜沉积设备,包括:
导管,所述导管用于传送携带汽化材料的第一气流,所述第一气流具有作为墨成分的汽化材料;
喷嘴,所述喷嘴具有与所述导管处于流体连通的多个微孔,所述喷嘴将所述第一气流分成多个微米级支流,每个支流携带所述汽化材料;以及
衬底,所述衬底相对于所述多孔喷嘴定位以使作为墨成分的所述汽化材料凝结,从而在目标印刷区上形成大体固态的薄膜;
其中所述多个支流相对于彼此定位以沉积具有大体均匀薄膜厚度轮廓的薄膜。
13.根据权利要求12所述的设备,其中所述导管与所述多孔喷嘴成一体。
14.根据权利要求12所述的设备,进一步包括第二喷嘴,所述第二喷嘴在所述多个支流周围提供气帘。
15.根据权利要求14所述的设备,其中所述气帘防止所述第一气流延伸超过所述目标印刷区。
16.根据权利要求14所述的设备,其中所述第二喷嘴进一步包括影响所述目标印刷区的边缘的单孔喷嘴。
17.根据权利要求14所述的设备,其中所述多孔喷嘴将所述多个支流引导到所述目标印刷区上,从而形成具有大体均匀厚度的印刷层。
18.根据权利要求14所述的设备,其中所述多孔喷嘴进一步包括多个独立的孔口,在所述多个独立的孔口中,至少两个孔口通过开口连接。
19.根据权利要求14所述的设备,其中所述导管和所述多喷嘴孔被集成到一个结构中。
20.根据权利要求14所述的设备,进一步包括被布置以形成喷嘴阵列的多个喷嘴,所述喷嘴阵列被至少一个第二喷嘴环绕,所述第二喷嘴为所述目标印刷区的边界提供流体帘。
21.根据权利要求14所述的设备,其中所述支流彼此独立。
22.根据权利要求21所述的设备,其中所述喷嘴相对于彼此定位,使得所述多个支流中的至少两个是重叠的。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
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