[发明专利]ALD系统和方法

权利要求书

1.一种用于将薄膜层沉积到一个或更多个衬底上的反应室组合件(3000、8100)，其包括：

-用于封闭中空室的外壁组合件，包括与基本相对的左外侧壁和右外侧壁(3030，3040)和基本相对的前外壁和后外壁(3042，3044)相连的基本相对的顶外壁和底外壁(3010，3020)；

-气体供应模块，用于将一种或更多种气体和气相材料递送到所述中空室中；

-真空泵，用于从所述中空室移除气体和气相材料；

-其特征在于，所述反应室组合件还包括：

-矩形输入孔(3140)，其延伸穿过所述左外侧壁和右外侧壁(3030)、(3040)之一；

-矩形输出孔(3130)，其延伸穿过所述左外侧壁和右外侧壁(3040)中的另一个，其中所述输入矩形孔和所述输出矩形孔相对设置并具有基本相同的孔尺寸；

-输入增压部(3150)，其设置在所述外壁组合件的外部并且与所述气体供应模块流体连通，用于将所述一种或更多种气体和气相材料通过所述输入矩形孔递送到所述中空室中；和

-输出增压部(3250)，其设置在所述外壁组合件的外部并且与所述真空泵流体连通，用于通过所述输出矩形孔从所述中空室移除气体和气相材料。

2.权利要求1所述的反应室组合件，还包括基本水平设置在所述中空室内并且在所述输入矩形孔和所述输出矩形孔之间的一个或更多个衬底支撑表面(3350，8130)。

3.权利要求2所述的反应室组合件，还包括：

-穿过所述前外壁(3042)的前孔(3035)，其用于提供进入所述中空室(3070)的入口，用以装载和卸载所述一个或更多个衬底；和

-相对于所述前孔可移动的入口门(3080)，其用于当所述入口门关闭时在沉积涂覆循环期间气体密封所述前孔，和用于当所述入口门打开时提供通过所述前孔进入所述中空室的入口。

4.权利要求2所述的反应室，其中所述输入增压部形成具有输入端和输出端的输入增压室(3210)，所述输入端通过设置在所述输入端附近的输入口(3220)接收来自所述气体供应模块的所述一种或更多种气体和气相材料，所述输出端将所述一种或更多种气体和气相材料通过所述矩形输入孔(3130)递送到所述中空室中，并且其中所述输入增压室的形状为从所述输入端到所述输出端体积基本连续膨胀。

5.权利要求4所述的反应室组合件，其中所述输入增压室(3210)在基本水平的平面内具有第一三角形截面，其中所述输入端形成所述第一三角形截面的顶点，并且所述输出端形成所述第一三角形截面的底部，而且其中所述输出端通过所述矩形输入孔(3130)与所述中空室流体连通。

6.权利要求5所述的反应室组合件，其中所述输入增压室在基本垂直的平面内具有第二梯形截面，其中所述输入端形成所述第二梯形截面的顶点，并且所述输出端形成所述第二梯形截面的底部。

7.权利要求6所述的反应室，其中所述输出增压部(3250)形成具有输出端和输入端的输出增压室(3300)，所述输出端用于通过设置在所述输出端附近的出口模块(3220)从所述输出增压室移除所述气体和气相材料，并且所述输入端用于通过所述左矩形孔和所述右矩形孔中对应的一个孔将所述一种或更多种气体和气相材料从所述中空室中移出，并且其中所述输出增压室的形状为从所述输入端到所述输出端体积基本连续缩小。

8.权利要求2和7中任一项所述的反应室组合件，其中所述输出增压室(3300)具有基本在水平平面内的第一三角形截面，其中所述输出端形成所述第一三角形截面的顶点，并且所述输入端形成所述第一三角形截面的底部，而且其中所述输入端通过所述矩形输出孔(3140)与所述中空室流体连通。

9.权利要求8所述的反应室组合件，其中所述输出增压室具有基本在垂直平面内的第二梯形截面，其中所述输出端形成所述第二梯形截面的顶点，并且所述输入端形成所述第二梯形截面的底部。