[发明专利]扫掠期间剂量可变的转子光学部件成像方法及系统

权利要求书

1.一种调整随着写入器扫掠不与工件的第一轴平行的弯曲路径沿着第一轴变化和累积的曝光剂量的方法，所述方法包括：

当将栅格化图像的特定像素写在工件上或从工件上读取特定像素时确定扫描头的扫掠方向；

在计算机可读存储媒体中查找校正因子，或至少部分根据扫掠方向相对于工件的第一轴的角度计算校正因子；以及

应用特定像素的校正因子来调整特定像素在工件上的累积强度。

2.如权利要求1所述的方法，其中，随着扫描头跨过工件扫掠近似圆弧，校正因子是近似正弦的。

3.如权利要求1-2的任何一项所述的方法，进一步包括确定扫描头在第一方向的扫掠和工件在第二方向的移动两者相对于第一轴的角度。

4.如权利要求1-3的任何一项所述的方法，其中，扫描头通过写入头跨过工件的扫掠相对于该轴维持基本相同投影图像取向，进一步包括在确定角度时相对于该轴的投影图像取向。

5.如权利要求1-4的任何一项所述的方法，进一步包括作为确定扫掠方向的一部分，感测写入头的角位置。

6.如权利要求1-5的任何一项所述的方法，进一步包括将校正因子应用于原始图像剂量数据，以生成校正图像剂量数据，并利用校正图像剂量数据驱动调制器。

7.如权利要求1-5的任何一项所述的方法，进一步包括将校正因子应用于照射系统，从而通过照射光的强度将原始图像剂量校正成校正图像剂量。

8.如权利要求1-7的任何一项所述的方法，进一步包括作为确定扫掠方向的一部分，感测读取头的角位置。

9.如权利要求1-8的任何一项所述的方法，进一步包括将校正因子应用于原始图像剂量数据，以生成校正图像剂量数据，并利用校正图像剂量数据驱动调制器。

10.如权利要求1-8的任何一项所述的方法，进一步包括将校正因子应用于照射系统，从而通过照射光的强度将原始图像剂量校正成校正图像剂量。

11.一种累积强度调整设备，包括：

扫掠方向计算器，用于当将栅格化图像的特定像素写入工件中时，确定扫描头的扫掠方向；

查找存储器或程序函数，用于确定至少部分基于扫掠方向相对应于该轴的角度的校正因子；以及

与扫掠方向计算器和查找存储器或程序函数耦合的校正计算器，其中该校正计算器至少使用扫掠方向确定校正因子，该校正计算器将校正因子应用于原始像素值，并将校正像素值输出到存储器。

12.如权利要求11所述的设备，其中，随着扫描头跨过工件扫掠近似圆弧，校正因子是近似正弦的。

13.如权利要求11-12的任何一项所述的设备，其中，该校正计算器进一步至少使用扫描头在第一方向的扫掠和工件在第二方向的移动两者相对于第一轴的角度来确定校正因子。

14.如权利要求11-13的任何一项所述的设备，其中，扫描头通过写入头跨过工件的扫掠相对于该轴维持基本相同投影图像取向，其中校正计算器进一步在确定角度时至少使用写入头相对于该轴的投影图像取向。

15.如权利要求11-14的任何一项所述的设备，其中，进一步包括与扫掠方向计算器耦合的感测设备，用于感测写入头的角位置。

16.如权利要求11-15的任何一项所述的设备，进一步包括将校正因子应用于原始图像剂量数据，以生成校正图像剂量数据的剂量计算器；以及与剂量计算器耦合和响应校正图像剂量数据的调制器。

17.如权利要求11-15的任何一项所述的设备，进一步包括将校正因子应用于照射系统，从而通过照射光的强度将原始图像剂量校正成校正图像剂量的照射调整器。

18.如权利要求11-14的任何一项所述的设备，与作为确定扫掠方向的一部分，感测读取头的角位置的感测设备耦合。

19.如权利要求11-14的任何一项或18所述的设备，进一步包括将校正因子应用于原始图像剂量数据，以生成校正图像剂量数据的剂量计算器；以及与剂量计算器耦合和响应校正图像剂量数据的调制器。

20.如权利要求11-14的任何一项或18所述的设备，进一步包括将校正因子应用于照射系统，从而通过照射光的强度将原始图像剂量校正成校正图像剂量的照射调整器。