[发明专利]集中器型光电(CPV)模块、接收器和子接收器及其形成方法

权利要求书

1.一种形成集中器型光电接收器的方法，包括：

在基底上形成太阳能电池；

在所述基底上形成自对中透镜支撑件，所述自对中透镜支撑件中具有使所述太阳能电池的光接收表面露出的开口；以及

在所述自对中透镜支撑件上形成与所述太阳能电池的所述光接收表面相对的球面透镜。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述形成球面透镜包括将所述球面透镜密封于所述自对中透镜支撑件中的所述开口。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述密封所述球面透镜包括在从大约150℃至大约350℃的范围内的温度下对所述球面透镜和所述自对中透镜支撑件进行退火。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述密封所述球面透镜包括在化学惰性环境中对所述球面透镜和所述自对中透镜进行退火。

5.根据权利要求3所述的方法，其中，所述化学惰性环境是无氧的。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述化学惰性环境包括氮气和/或氩气。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述形成球面透镜包括将所述球面透镜气密地密封于所述自对中透镜支撑件中的所述开口。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述形成所述自对中透镜支撑件之前是在所述太阳能电池的所述光接收表面上形成一对电气互连结构；并且其中所述形成所述自对中透镜支撑件包括将所述自对中透镜支撑件沉积到所述一对电气互连结构上。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述自对中透镜支撑件是环形的；并且其中在所述自对中透镜支撑件上形成球面透镜之前是在所述基底上形成围绕所述自对中透镜支撑件的环形密封结构。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述环形密封结构的直径大于所述自对中透镜支撑件的直径；并且其中所述环形密封结构相对于所述自对中透镜支撑件同心地布置。

11.一种形成集中器型光电接收器的方法，包括：

在基底上形成太阳能电池；

在所述基底上形成自对中透镜支撑件，所述自对中透镜支撑件中具有使所述太阳能电池的光接收表面露出的开口；以及

在所述自对中透镜支撑件上形成与所述太阳能电池的所述光接收表面相对的透镜。

12.根据权利要求9所述的方法，其中，所述自对中透镜支撑件是环形的；并且其中在所述自对中透镜支撑件上形成透镜之前是在所述基底上形成围绕所述自对中透镜支撑件的环形密封结构。

13.根据权利要求11所述的方法，其中，所述形成透镜包括将所述透镜气密地密封于所述自对中透镜支撑件中的所述开口。

14.根据权利要求11所述的方法，其中，所述形成透镜包括将所述透镜密封于所述自对中透镜支撑件中的所述开口；并且其中所述密封所述透镜包括在从大约150℃至大约350℃的范围内的温度下对所述透镜和所述自对中透镜支撑件进行退火。

15.根据权利要求14所述的方法，其中，所述密封所述透镜包括在无氧环境中对所述透镜和所述自对中透镜支撑件进行退火。

16.一种形成集中器型光电接收器的方法，包括：

在基底上形成太阳能电池；

在所述基底上形成环形透镜支撑件，所述环形透镜支撑件中具有使所述太阳能电池的光接收表面露出的开口；以及

在所述环形透镜支撑件上形成与所述太阳能电池的所述光接收表面相对的透镜。

17.根据权利要求16所述的方法，其中，在所述形成所述环形透镜支撑件之前是在所述太阳能电池的所述光接收表面上形成一对电气互连结构；并且其中所述形成所述环形透镜支撑件包括将所述环形透镜支撑件沉积到所述一对电气互连结构上。

18.根据权利要求17所述的方法，其中，所述形成透镜包括将所述透镜气密地密封于所述环形透镜支撑件中的所述开口。

19.一种集中器型光电接收器，包括：

基底上的太阳能电池；

所述基底上的自对中透镜支撑件，所述自对中透镜支撑件中具有使所述太阳能电池的光接收表面露出的开口；以及

所述自对中透镜支撑件上的球面透镜，所述球面透镜与所述太阳能电池的所述光接收表面相对。