[发明专利]由镓掺杂的石英玻璃制成的滤光器材料、滤光器部件以及借助UV辐射源进行照射的方法

权利要求书

1.一种由掺杂的石英玻璃制成的滤光器材料，该材料对于254nm波长的UV工作辐射展现了至少80％cm^-1的光谱透射率、并且在230nm至250nm的波长范围内具有一个截止波长λ_c，其特征在于，该截止波长λ_c是通过进行包含一种镓化合物的掺杂而确定的，该镓化合物在低于250nm的波长范围内具有吸收带的最大值。

2.根据权利要求1所述的滤光器材料，其特征在于，该镓化合物是Ga₂O₃。

3.根据权利要求1或2所述的滤光器材料，其特征在于，该镓化合物的浓度(基于未掺杂的石英玻璃的Ga浓度)是在从1至1000wt.ppm的范围内。

4.根据权利要求3所述的滤光器材料，其特征在于，该镓化合物的浓度(基于未掺杂的石英玻璃的Ga浓度)是在从50至500wt.ppm的范围内。

5.根据以上任一权利要求所述的滤光器材料，其特征在于，这种掺杂包括一种钛化合物、优选是处于TiO₂形式的一种钛化合物。

6.根据权利要求5所述的滤光器材料，其特征在于，该钛化合物的浓度(基于未掺杂的石英玻璃的Ti浓度)是在从1至50wt.ppm的范围内。

7.根据权利要求6所述的滤光器材料，其特征在于，该钛化合物的浓度(基于未掺杂的石英玻璃的Ti浓度)是小于20wt.ppm。

8.根据以上任一权利要求所述的滤光器材料，其特征在于，这种掺杂包括氧化镓(Ga₂O₃)和氧化钛(TiO₂)，Ga∶Ti的摩尔比是在从10至100的范围内。

9.根据以上任一权利要求所述的的滤光器材料，其特征在于，该石英玻璃是一种合成生产的石英玻璃。

10.根据以上任一权利要求所述的的滤光器材料，其特征在于，该SiO₂含量为至少99.9wt.％。

11.根据以上任一权利要求所述的的滤光器材料，其特征在于，该石英玻璃具有的羟基含量是小于10wt.ppm、优选小于1wt.ppm。

12.一种借助UV辐射源来照射一个表面、一种液体或一种气体的方法，该辐射源发射出254nm左右波长的工作辐射并且穿过一种掺杂的石英玻璃的滤光器材料，该材料对于该工作辐射展现出了至少80％cm-1的光谱透射率并且在230nm至250nm的波长范围内具有一个截止波长λ_c，其特征在于，使用了一种滤光器材料，在该材料中该截止波长λ_c的位置是通过进行包含一种镓化合物的掺杂而确定的，该镓化合物在低于250nm的波长范围内具有吸收带的最大值。

13.一种由根据权利要求1至11中任一项所述的滤光器材料制成的滤光器部件，其特征在于，对于254nm波长的UV工作辐射，它展现出了至少80％cm^-1的光谱透射率并且在230至250nm范围内具有一个截止波长λ_c。