[发明专利]双反射镜扫描系统

权利要求书

1.一种设备，包括：

衬底；

第一扫描反射镜，所述第一扫描反射镜被耦接到所述衬底并且名 义上平行于所述衬底，并且所述第一扫描反射镜能够被操作以具有在 第一维度上的可变角位移；

折叠反射镜，所述折叠反射镜位于所述衬底上，并且平行于所述 衬底；和

第二扫描反射镜，所述第二扫描反射镜被定位成接收从所述折叠 反射镜反射的光并且向所述第一扫描反射镜反射光，所述第二扫描反 射镜能够被操作以具有在与所述第一维度基本成90度的第二维度上的 角位移。

2.根据权利要求1的设备，其中，所述衬底包括硅衬底，并且所 述折叠反射镜包括在所述硅衬底上的反射表面。

3.根据权利要求1的设备，其中，所述第一扫描反射镜包括微机 电机器(MEMS)扫描平台。

4.根据权利要求1的设备，进一步包括第二折叠反射镜，所述第 二折叠反射镜将输入光束反射到位于所述衬底上的所述折叠反射镜。

5.根据权利要求1的设备，其中所述第一扫描反射镜具有非圆形 形状。

6.一种设备，包括：

第一折叠反射镜，所述第一折叠反射镜反射输入光束；

第二折叠反射镜，所述第二折叠反射镜反射从所述第一折叠反射 镜接收的光；

快速扫描反射镜，所述快速扫描反射镜被定位成接收来自所述第 二折叠反射镜的光并且提供在第一维度上扫描的光束；和

慢速扫描反射镜，所述慢速扫描反射镜被定位成接收来自所述快 速扫描反射镜的光束并且提供在第二维度上扫描的光束，其中所述慢 速扫描反射镜和所述第二折叠反射镜被耦接到公共衬底。

7.根据权利要求6的设备，其中，所述慢速扫描反射镜包括由所 述公共衬底形成的微机电系统(MEMS)装置。

8.根据权利要求7的设备，其中，所述第二折叠反射镜包括所述 公共衬底的反射部分。

9.根据权利要求6的设备，其中，所述慢速扫描反射镜进一步包 括被结合到所述MEMS装置的反射元件。

10.根据权利要求6的设备，其中，当所述快速扫描反射镜静止 时，所述输入光束基本上平行于所述快速扫描反射镜。

11.一种设备，包括：

折叠反射镜，所述折叠反射镜反射输入光束；

第一扫描反射镜，所述第一扫描反射镜被定位成接收来自所述折 叠反射镜的光并且提供在第一维度上扫描的光束；

第二扫描反射镜，所述第二扫描反射镜被定位成接收来自所述第 一扫描反射镜的光束并且提供在第二维度上扫描的光束；和

输出光学器件，所述输出光学器件被定位成横穿来自所述第二扫 描反射镜的光束，其中所述折叠反射镜位于所述输出光学器件上。

12.根据权利要求11的设备，其中所述输出光学器件包括楔形物。

13.根据权利要求11的设备，其中所述第一扫描反射镜能够被操 作以比所述第二扫描反射镜更快地扫描。

14.一种可移动投影装置，包括：

激光光源，所述激光光源产生调制激光；

第一折叠反射镜，所述第一折叠反射镜反射所述调制激光；

第二折叠反射镜，所述第二折叠反射镜反射从所述第一折叠反射 镜接收的光；

第一扫描反射镜，所述第一扫描反射镜被定位成接收来自所述第 二折叠反射镜的光；和

第二扫描反射镜，所述第二扫描反射镜被定位成接收来自所述第 一扫描反射镜的光束，其中所述第二扫描反射镜和所述第二折叠反射 镜被耦接到公共衬底。