[发明专利]调谐器和微波等离子体源

权利要求书

1.一种调谐器，其设置于将微波从微波电源向实施微波等离子体 处理的腔室传送的微波传送路径，使所述腔室内的负荷的阻抗与所述 微波电源的特性阻抗匹配，所述调谐器的特征在于，包括：

主体，其具有呈筒状的外侧导体和同轴设置在其中的呈筒状的内 侧导体，成为微波传送路径的一部分；

铁心，其设置于所述外侧导体与所述内侧导体之间，沿着内侧导 体的长度方向能够移动，呈环状，由电介质形成；和

使所述铁心移动的驱动机构，其中，

所述驱动机构具有：给予驱动力的驱动部；将来自驱动部的驱动 力传送到所述铁心的驱动传送部；引导所述铁心的移动的驱动引导部； 和将所述铁心保持于所述驱动传送部的保持部，

所述驱动传送部、所述驱动引导部和所述保持部被收容于所述内 侧导体的内部。

2.如权利要求1所述的调谐器，其特征在于：

所述驱动机构包括：

滑动部件，其嵌入所述铁心的内部，以与所述内侧导体的内周接 触的状态在所述内侧导体的内部滑动，并具有螺纹孔；和

铁心移动轴，其在所述内侧导体的内部沿长度方向设置，由与所 述铁心的所述滑动部件的螺纹孔螺合的螺棒形成，

通过所述铁心移动轴和所述滑动部件组成由螺旋机构形成的驱动 传送部，通过所述滑动部件和所述内侧导体的内周面组成由滑动引导 机构形成的驱动引导部，通过所述滑动部件组成所述保持部，

所述驱动部具有使所述铁心移动轴旋转的发动机，通过由所述发 动机使所述铁心移动轴旋转，由所述滑动部件保持的所述铁心，以所 述滑动部件在所述内侧导体的内周被滑动引导的状态被驱动。

3.如权利要求2所述的调谐器，其特征在于：

所述滑动部件由具有滑动性的树脂形成。

4.如权利要求2所述的调谐器，其特征在于：

具有至少2个所述铁心，对应所述铁心具有至少2个上述铁心移 动轴和所述发动机，在所述滑动部件形成有其他铁心的铁心移动轴插 通的通孔。

5.如权利要求4所述的调谐器，其特征在于：

所述至少2个发动机沿所述铁心的移动方向被偏置设置。

6.如权利要求2所述的调谐器，其特征在于：

还具有设置于所述发动机的输出轴、用于检测所述铁心的位置的 增量型编码器，使所述铁心移动并到达机械制动器，由此发动机停止， 通过检测所述编码器的计数不变化的情况来求得所述铁心的原点位 置，以此位置为基准检测所述铁心的位置。

7.如权利要求2所述的调谐器，其特征在于：

所述内侧导体具有所述滑动部件与所述铁心的连结部移动用的缝 隙，所述缝隙的宽带是5mm以下。

8.一种微波等离子体源，其特征在于，包括：

微波电源；将微波从所述微波电源向对基板实施等离子体处理的 腔室传送的微波传送路径；调谐器，其设置于所述微波传送路径，使 所述腔室内的负荷的阻抗与所述微波电源的特性阻抗匹配；和天线部， 其使所述微波在所述腔室放射并生成等离子体，

所述调谐器包括：

主体，其具有呈筒状的外侧导体和同轴设置在其中的呈筒状的内 侧导体，成为微波传送路径的一部分；

铁心，其设置于所述外侧导体与所述内侧导体之间，沿着内侧导 体的长度方向能够移动，呈环状，由电介质形成；和

使所述铁心移动的驱动机构，

所述驱动机构具有给予驱动力的驱动部、将来自驱动部的驱动力 传送到所述铁心的驱动传送部、引导所述铁心的移动的驱动引导部和 将所述铁心保持于所述驱动传送部的保持部，

所述驱动传送部、所述驱动引导部和所述保持部被收容在所述内 侧导体的内部。