[发明专利]构成机械增压泵、涡轮分子泵或干式泵的部件的表面处理方法及通过该表面处理方法处理过的机械增压泵、涡轮分子泵或干式泵有效
| 申请号： | 201080013272.5 | 申请日： | 2010-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN102362015A | 公开（公告）日： | 2012-02-22 |
| 发明（设计）人： | 石榑文昭;稻吉荣;三浦辰也;佐藤洋志;石川裕一 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C25D11/04 | 分类号： | C25D11/04;C25D11/06;F04C29/00;F04D19/04 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李帆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 构成 机械 增压泵 涡轮 分子 干式泵 部件 表面 处理 方法 通过 | ||
【权利要求书】：
1.一种构成干式泵的部件的表面处理方法，其特征在于，构成机 械增压泵、涡轮分子泵或干式泵的部件由铝或铝合金构成，将所述部 件表面浸渍于碱性溶液中，进行微弧氧化处理。
2.权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，所述碱性溶液 是将磷酸氢二钠、三聚磷酸钠、磷酸二氢钠、多聚磷酸钠、硅酸钠、 氢氧化钾、二磷酸钠、磷酸三钠、铝酸钠、偏硅酸钠及氢氧化钠等中 的一种或它们中的混合物溶解于水中，使其浓度为0.1％～5％。
3.权利要求1或2所述的表面处理方法，其特征在于，使所述微 弧处理中的施加电压为300V～600V的范围，使电流密度为3.0A/dm2～ 10A/dm2。
4.权利要求1～3中任一项所述的表面处理方法，其特征在于， 使所述碱性溶液的温度为5～90℃。
5.权利要求1～4中任一项所述的表面处理方法，其特征在于， 使通过所述处理在部件表面形成的氧化膜的膜厚为12μm～15μm。
6.机械增压泵、涡轮分子泵或干式泵，其特征在于，由通过权利 要求1～5中任一项所述的表面处理方法处理过的部件构成。
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