[发明专利]制造光伏级硅金属的方法无效
申请号: | 201080012951.0 | 申请日: | 2010-03-17 |
公开(公告)号: | CN102365234A | 公开(公告)日: | 2012-02-29 |
发明(设计)人: | A·马西森;J·W·克尼泽 | 申请(专利权)人: | 波士顿硅材料有限公司 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021;H01L31/00 |
代理公司: | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 黄威;王智 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制造 光伏级硅 金属 方法 | ||
1.形成含有硅的反应产物的方法,包括以下步骤:
(a)将四氯化硅引入含有熔融金属钠的反应器容器中,在所述容器 中控制所述熔融钠的液面以保留在预定工艺参数内,由此所述钠相对 于所述四氯化硅总是化学计量过量;
(b)将包含硅金属、氯化钠和钠金属的混合物的所述反应产物与所 述反应器容器中的钠金属分离;和
(c)从所述硅金属中去除足够量的非硅产物,所述非硅产物将有害 于所述硅金属作为用于产生电力的光伏器件中使用的半导体的性能。
2.根据权利要求1所述的方法,其中四氯化硅作为液体引入所述 容器中。
3.根据权利要求1所述的方法,其中所述容器中所述钠的液面通 过自动化方法在一组工艺参数内保持,所述一组工艺参数进行自动化 控制。
4.根据权利要求2所述的方法,其中所述容器中所述钠的液面通 过自动化方法在一组工艺参数内保持,所述一组工艺参数进行自动化 控制。
5.根据权利要求1所述的方法,其中所述含有硅的反应产物与所 述钠在惰性气氛下分离。
6.根据权利要求2所述的方法,其中所述含有硅的反应产物与所 述钠在惰性气氛下分离。
7.根据权利要求2所述的方法,通过在惰性气氛中加热所述反应 产物到高于800℃的温度,在所述反应产物中包含的至少一半的所述钠 被去除。
8.根据权利要求7所述的方法,其中加热过程进行重复以进一步 纯化所述硅金属。
9.根据权利要求2所述的方法,其中所述硅金属具有大于10微米 的平均颗粒大小。
10.根据权利要求2所述的方法,其中所述硅金属具有大于100 微米的平均颗粒大小。
11.通过权利要求1的所述方法形成的反应产物,主要包括硅金属 元素、氯化钠和金属钠,其中金属钠的质量分数大于0.1%。
12.通过权利要求1的所述方法形成的反应产物,主要包括硅金属 元素、氯化钠和金属钠,其中金属钠的质量分数大于1%。
13.减少权利要求11或12的产物中的金属钠的质量分数的方法, 包括在惰性气氛中加热所述产物到高于钠的沸点的温度、由此减少所 述产物中金属钠的质量分数的步骤。
14.通过从权利要求11或12任一的产物中去除氯化钠和钠金属产 生的金属硅组合物,其中所述金属硅为至少99.999%纯,且适合于制造 用于产生电力的光伏器件。
15.通过真空熔化权利要求14的金属硅组合物生产的金属硅的胚 料,其中所述金属硅适合于制造用于产生电力的光伏器件。
16.通过从权利要求11或12任一的产物中去除氯化钠和钠金属产 生的金属硅组合物,其中所述金属硅为至少99.9999%纯,且适合于制 造用于产生电力的光伏器件。
17.通过真空熔化权利要求16的金属硅组合物生产的金属硅的胚 料,其中所述金属硅适合于制造用于产生电力的光伏器件。
18.由权利要求15或17的金属硅的胚料生产的光伏器件。
19.由权利要求18的光伏器件生产的电。
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