[发明专利]具有真空电介质的电容性表压传感器

权利要求书

1.一种电容性表压变送器，包括：

电容性表压传感器，包括：

传感器主体，在所述传感器主体中限定了主腔；

薄环形隔膜，被部署在主腔中，并将所述主腔划分为第一部分和第二部分，所述第二部分处于真空状态下并形成真空电介质；

大气参考口，形成于所述传感器主体中，并使腔的第一部分保持于环境大气压力；

过程介质入口，被配置为耦接至过程介质的源；

导电的可弯曲隔膜，被部署在腔的第二部分和所述过程介质入口之间；以及

至少一个电容性板，与隔膜相对地被部署在腔的第二部分中，从而所述导电的可弯曲隔膜的弯曲产生在至少一个电容性板和导电的可弯曲隔膜之间的电容的改变，所述电容指示过程介质的表压。

2.根据权利要求1所述的变送器，还包括：

传感器电路，电耦接至所述电容性表压传感器，以基于所述电容性表压传感器的电容来产生传感器信号，所述传感器信号指示过程介质的表压；以及

变送器电路，耦接至所述传感器电路，以通过过程通信环发送与传感器信号有关的信息。

3.根据权利要求2所述的变送器，还包括：耦接至传感器主体的电子设备外壳，所述传感器电路和变送器电路置于所述电子设备外壳中。

4.根据权利要求1所述的变送器，还包括：置于腔的第二部分中的绝缘体主体，所述至少一个电容性板被部署在绝缘体主体上。

5.根据权利要求4所述的变送器，还包括：置于绝缘体主体和导电的可弯曲隔膜之间的低膨胀垫片，以利于所述导电的可弯曲隔膜在受到过程介质的压力时的弯曲。

6.根据权利要求1所述的变送器，还包括：形成在传感器主体中的排出口，用于排空腔的第二部分。

7.根据权利要求1所述的变送器，还包括：贯穿腔的第一部分并进入腔的第二部分的排出管，以排空腔的第二部分。

8.一种用于工业过程中的现场设备，包括：

电容性表压传感器，被配置为测量过程介质的表压，所述表压传感器包括：

传感器主体，在所述传感器主体中形成有第一腔和第二腔，所述第二腔处于真空状态下，并形成所述表压传感器的真空电介质；

大气参考口，形成在所述传感器主体中，并使所述第一腔与所述现场设备周围的环境大气压力保持平衡；

过程介质入口，被配置为耦接至过程介质的源；

导电的可弯曲隔膜，被部署在所述第二腔和所述过程介质入口之间；以及

电容性板，与所述导电的可弯曲隔膜相隔开地被部署在所述第二腔中，从而所述导电的可弯曲隔膜的弯曲产生电容改变，其中所述电容指示过程介质的表压；

传感器电路，电耦接至所述表压传感器，并被配置为产生传感器信号，所述传感器信号指示过程介质的表压；以及

变送器电路，耦接至所述传感器电路，以通过过程通信环发送与传感器信号有关的信息。

9.根据权利要求8所述的现场设备，还包括：

置于所述传感器主体中的绝缘体主体，所述电容性板被部署在所述绝缘体主体上；以及

薄环形隔膜，以物理方式耦接在所述绝缘体主体和所述传感器主体之间，其中，所述绝缘体主体和所述薄环形隔膜将环境大气压力下的第一腔与提供真空电介质的第二腔分开。

10.根据权利要求9所述的现场设备，还包括：置于绝缘体主体和导电的可弯曲隔膜之间的低膨胀垫片，以利于所述导电的可弯曲隔膜在受到过程介质的压力时的弯曲。

11.根据权利要求8所述的现场设备，还包括：耦接至传感器主体的电子设备外壳，所述传感器电路和变送器电路置于所述电子设备外壳中。

12.根据权利要求8所述的现场设备，还包括：形成在所述传感器主体中的排出口，用于排空所述第二腔以形成真空电介质。

13.根据权利要求8所述的现场设备，还包括：贯穿所述第一腔并进入所述第二腔的排出管，用于排空所述第二腔以形成真空电介质。