[发明专利]用于传送基板的静电末端执行器设备、系统和方法

权利要求书

1.一种用于在电子装置制造系统部件间传送基板的基板传送系统，包括：

机器人部件；以及

耦合至所述机器人部件的静电末端执行器，所述末端执行器包括基底、位于所述基底上的电极对和适用于在所述基板与所述电极对之间形成间隙的间隔物构件，藉此静电荷适用于在所述系统部件间的传送期间不时将所述基板固定至所述末端执行器。

2.如权利要求1所述的基板传送系统，包括可切换接地电路，所述可切换接地电路附连至至少一个所述间隔物构件。

3.一种用于在电子装置制造系统中的系统部件间传送基板的静电末端执行器设备，包括：

基底，所述基底适用于连接至机器人部件；

放置在所述基底上的电极对；以及

间隔物构件，所述间隔物构件放置在所述基底上，并且适用于在所述基板与所述电极对之间提供间隙。

4.如权利要求3所述的静电末端执行器设备，其中所述间隔物构件包括至少三个安装在所述基底上的圆顶垫。

5.如权利要求3所述的静电末端执行器设备，其中所述末端执行器适用于产生至少0.2g的夹钳力。

6.如权利要求3所述的静电末端执行器设备，其中所述电极对由安装在所述基底上的导电板组成。

7.如权利要求6所述的静电末端执行器设备，其中所述板没有形成在所述板的上表面上的介电层。

8.如权利要求3所述的静电末端执行器设备，进一步包括多个电极对，所述电极对由安装在所述基底上的导电板组成。

9.如权利要求3所述的静电末端执行器设备，其中至少一个所述间隔物构件导电。

10.如权利要求9所述的静电末端执行器设备，进一步包括连接至所述导电间隔物构件的接地电路的电引线。

11.如权利要求3所述的静电末端执行器设备，进一步包括至少一个触压构件，所述触压构件具有顶表面，所述顶表面偏移由所述电极对的顶表面形成的平面。

12.如权利要求3所述的静电末端执行器设备，其中所述间隔物构件适用于与所述基板形成三点接触，其中所述基板与所述电极对之间的所述间隙小于约635微米。

13.如权利要求3所述的静电末端执行器设备，其中所述电极对的每一电极由薄导电层组成，所述薄导电层具有小于约254微米的厚度。

14.一种在电子装置制造系统的部件间传送基板的方法，包含步骤：

在末端执行器的间隔物构件上安装基板；

通过给放置在所述末端执行器上的电极对施加电压来产生静电荷，以吸附所述基板至所述间隔物构件，藉此在所述基板与所述电极对之间形成间隙；以及

在所述制造系统的系统部件间传送所述基板，同时在所述传送期间不时维持所述静电荷。

15.如权利要求14所述的方法，进一步包含步骤：提供一足以使所述基板偏斜到与至少一个触压垫接触的吸附力。