[发明专利]双轴旋转速率传感器

权利要求书

1.一种微机械旋转速率传感器，包括至少一个衬底，其中所述旋转速率传感器至少具有第一和第二震动块，所述第一和第二震动块借助至少一个耦合梁彼此耦合，并且其中所述旋转速率传感器以可检测围绕至少第一和第二敏感轴的旋转速率的方式实现，其特征在于，

每个震动块分配有至少一个致动单元，能够使用所述至少一个致动单元影响所述震动块的偏转特性。

2.如权利要求1中所述的旋转速率传感器，其特征在于，所述至少一个致动单元具有电极结构或梳形结构并且以这样的方式被配置和致动：在所述致动单元的所述电极结构或梳形结构与分配有所述致动单元的所述震动块之间存在电致动电压，该致动电压产生电动力，能够使用所述电动力影响所述震动块的偏转特性。

3.如权利要求2中所述的旋转速率传感器，其特征在于，后者具有实现为正交微调致动单元的至少一个致动单元，并且所述旋转速率传感器具有正交微调控制单元，所述正交微调控制单元以这样的方式设置至少一个电致动电压：抑制至少所述第一和第二震动块的寄生振荡分量和/或正交信号。

4.如权利要求2或3中所述的旋转速率传感器，其特征在于，所述旋转速率传感器具有实现为重置致动单元的至少一个致动单元，并且所述旋转速率传感器具有重置控制单元，所述重置控制单元以这样的方式设置至少一个电致动电压：对于所述第一和/或第二敏感轴而言，重置并且具体地说连续地重置读出偏转和/或读出振荡。

5.如权利要求2中所述的旋转速率传感器，其特征在于，所述旋转速率传感器具有实现为组合式正交微调重置致动单元的至少一个致动单元，并且所述旋转速率传感器具有正交微调重置控制单元，所述重置控制单元以这样的方式设置至少一个电致动电压：对于所述旋转速率传感器的所述第一和/或第二敏感轴而言，重置并且具体地说连续地重置读出偏转和/或读出振荡，并且抑制至少所述第一和第二震动块的寄生振荡分量和/或正交信号。

6.如权利要求1至5中的至少一个权利要求中所述的旋转速率传感器，其特征在于，对于所述第一和第二震动块的偏转，所述旋转速率传感器分别包括至少第一、第二和第三振荡器配置，其中所述第一振荡器配置具有至少一个驱动单元，所述驱动单元将驱动振荡施加于所述第一振荡器配置，所述驱动振荡包括所述震动块在第一轴的方向上的偏转，其中所述第一振荡器配置具有限定的驱动共振频率，

所述第二振荡器配置本质上通过所述震动块在第二轴的方向上的偏转来限定，所述偏转的形式为第一读出振荡，所述振荡由围绕所述第一敏感轴的旋转速率的效应和/或检测所产生，其中所述第二振荡器配置具有限定的第一读出共振频率，

所述第三振荡器配置本质上通过所述震动块在第三轴的方向上的偏转来限定，所述偏转的形式为第二读出振荡，所述振荡由围绕所述第一第二敏感轴的旋转速率的效应和/或检测所产生，其中所述第三振荡器配置具有限定的第二读出共振频率。

7.如权利要求6中所述的旋转速率传感器，其特征在于，所述旋转速率传感器具有实现为共振频率移位致动单元的至少一个致动单元，并且所述旋转速率传感器具有共振频率移位控制单元，所述共振频率移位控制单元以这样的方式设置至少一个电致动电压：一个或多个对应振荡器配置的所述驱动共振频率和/或所述第一读出共振频率和/或这两个共振频率被更改限定的值和/或被设置为限定的值。

8.如权利要求6或7中所述的旋转速率传感器，其特征在于，所述第二和第三振荡器配置以这样的方式实现和/或操作：所述第一读出共振频率与所述驱动共振频率之间的差以及所述第二读出共振频率与所述驱动共振频率之间的差均大于零或均小于零，其中具体地说，所述第一读出共振频率与所述第二读出共振频率之间的差的绝对值大于0.1赫兹。

9.如权利要求6或7中所述的旋转速率传感器，其特征在于，所述第二和第三振荡器配置以这样的方式实现和/或操作：所述第一读出共振频率与所述驱动共振频率之间的差大于零并且所述第二读出共振频率与所述驱动共振频率之间的差小于零，或者反之，其中具体地说，所述第一读出共振频率与所述第二读出共振频率之间的差的绝对值大于0.1赫兹。