[发明专利]模压成型玻璃坯料、制造模压成型玻璃坯料的方法以及制造光学元件的方法

权利要求书

1.一种模压成型用玻璃坯料，其具有芯部和厚度小于15nm的硅氧化物膜，该芯部由光学玻璃构成，该硅氧化物膜至少覆盖上述芯部的作为光学功能面的部位，且所述模压成型用玻璃坯料的利用三液法测定的表面自由能为75mJ/m²以下。

2.如权利要求1所述的模压成型用玻璃坯料，其中，所述光学玻璃含有选自由W、Ti、Bi和Nb组成的组中的至少一种易还原成分。

3.如权利要求1所述的模压成型用玻璃坯料，其中，以摩尔％表示，所述光学玻璃含有10～45％P₂O₅、3～35％Nb₂O₅、0～35％Li₂O、0～25％TiO₂、0～20％WO₃、0～40％Bi₂O₃、0～20％B₂O₃、0～25％BaO、0～25％ZnO、0～50％Na₂O、0～20％K₂O、0～15％Al₂O₃、0～15％SiO₂、以及相对于总氧量为0～10％的F。

4.一种模压成型用玻璃坯料的制造方法，所述模压成型用玻璃坯料具有由光学玻璃构成的芯部和至少覆盖芯部的作为光学功能面的部位的硅氧化物膜，在该制造方法中：

所述硅氧化物膜的厚度小于15nm；

该制造方法包括如下工序：使用由SiO₂构成的成膜材料，在含氧率大于等于5体积％、小于20体积％的范围的惰性气体与氧的混合气体气氛下进行成膜处理，从而在所述芯部的所述部位上形成所述硅氧化物膜。

5.如权利要求4所述的模压成型用玻璃坯料的制造方法，其中，利用溅射法进行所述成膜处理。

6.如权利要求4所述的模压成型用玻璃坯料的制造方法，其中，制作权利要求1所述的模压成型用玻璃坯料。

7.一种光学元件的制造方法，其包括如下工序：对权利要求1所述的模压成型用玻璃坯料进行加热，使用模压成型模具进行精密模压成型。

8.一种光学元件的制造方法，其包括如下工序：对采用权利要求4所述方法制作的模压成型用玻璃坯料进行加热，使用模压成型模具进行精密模压成型。