[发明专利]新型烷基全氟烯醚及其用途

说明书

相关专利申请的交叉引用

本专利申请要求2009年2月16日提交的美国临时申请61/152,803和2009年12月17日提交的美国临时申请61/287,275的优先权。

背景信息

公开领域

本发明涉及包含不饱和氟碳醚的清洁组合物。本发明进一步涉及所述清洁组合物在清洁、去脂、去焊、脱水和沉积含氟润滑剂方法中的用途。本发明进一步涉及新型不饱和氟碳醚和它们作为清洁组合物以及在上列方法中的用途。

相关领域说明

氯氟烃(CFC)化合物已被广泛用于半导体制造领域，以清洁表面如磁碟介质表面。然而，含氯化合物如CFC化合物被认为对地球臭氧层有害。此外已发现，许多用于替代CFC化合物的氢氟烃促使全球变暖。因此，需要找出对环境安全的新型溶剂以用于清洁应用，如去除残余焊剂、润滑剂或油污以及颗粒。还需要找出用于沉积含氟润滑剂以及用于使已在含水溶液中加工过的基板干燥或脱水的新型溶剂。

本发明提供了包含不饱和氟碳醚的新型组合物以及制备此类不饱和氟碳醚的方法。这些组合物在许多先前由CFC化合物所担任的应用中具有效用。本发明的组合物具有部分或所有的下列理想特性：对环境几乎没有或没有影响，具有溶解油、油脂或润滑剂(尤其是含氟润滑剂)的能力，不易燃，并具有溶解在干燥或脱水方法中所用的表面活性剂化合物的能力。

发明内容

在一个实施方案中，本文公开了包含具有式CF₃(CF₂)_xCF＝CFCF(OR)(CF₂)_yCF₃的化合物的组合物，其中R为CH₃或C₂H₅或它们的混合物，并且其中x和y独立地为0、1、2或3，并且其中x+y＝1、2或3。

在另一个实施方案中，本文公开了包含具有式CF₃(CF₂)_xC(OR)＝CFCF₂(CF₂)_yCF₃的化合物的组合物，其中R为CH₃或C₂H₅或它们的混合物，并且其中x和y独立地为0、1、2或3，并且其中x+y＝1、2或3。

在另一个实施方案中，本文公开了包含具有式CF₃CF＝CFCF(OR)(CF₂)_x(CF₂)_yCF₃的化合物的组合物，其中R为CH₃或C₂H₅或它们的混合物，并且其中x和y独立地为0、1、2或3，并且其中x+y＝1、2或3。

在另一个实施方案中，本文公开了包含具有式CF₃(CF₂)_xCF＝C(OR)CF₂(CF₂)_yCF₃的化合物的组合物，其中R为CH₃或C₂H₅或它们的混合物，并且其中x和y独立地为0、1、2或3，并且其中x+y＝1、2或3。