[发明专利]麦克风单元

权利要求书

1.一种麦克风单元，包括：

电声转换部，其具有响应于声压而振动的振动板，以将声压转换为电信号；

壳体，其容纳该电声转换部；以及

盖，其具有第一音孔和第二音孔，并被装配在该壳体上；

其中：

该壳体由通过层叠和一体化而形成的层叠基板制成；

该壳体包括：

凹入空间，该凹入空间内放置有该电声转换部，并且该凹入空间与该第一音孔相连通；及

中空空间，该中空空间提供该凹入空间的底表面与该第二音孔之间的连通；以及

还设置有：

第一音道，从该第一音孔经由该凹入空间延伸至该振动板的第一面；以及

第二音道，从该第二音孔经由该中空空间延伸至该振动板的第二面，该振动板的第二面是该第一面的背面。

2.如权利要求1所述的麦克风单元，其中：

使用低温共烧陶瓷LTCC基板作为该层叠基板。

3.如权利要求1所述的麦克风单元，其中：

该层叠基板具有不小于3ppm/℃且不大于5ppm/℃的线性膨胀系数。

4.如权利要求1所述的麦克风单元，其中：

该电声转换部是微机电系统MEMS芯片。

5.如权利要求1所述的麦克风单元，其中：

该壳体中设置有定位壁，用于进行该电声转换部的定位。

6.如权利要求1所述的麦克风单元，还包括：

电路部，其对通过该电声转换部获得的电信号进行处理；

其中，该电路部被放置在该凹入空间中。

7.如权利要求1所述的麦克风单元，其中：

该壳体和该盖是彼此一体化形成的。