[发明专利]喷墨头的喷射状态检查方法和喷墨头的喷射状态检查装置

权利要求书

1.一种喷墨头的喷射状态检查方法，在利用喷墨方式制造电子器件时的墨水涂敷工序中，检查从喷墨头喷射的墨液的状态，其特征在于，包括：

利用上述喷墨头向图像接收用测试介质喷射上述墨液而形成检查用图案的工序；

利用拍摄装置拍摄上述检查用图案的工序；以及

用由上述拍摄装置取得的上述检查用图案的图像数据，由图像评价装置检查上述墨液的喷射状态的工序，且

在上述的检查用图案形成工序与上述的拍摄工序之间限制上述图像接收用测试介质的移动。

2.如权利要求1所述的喷墨头的喷射状态检查方法，其特征在于：

作为上述图像接收用测试介质，使用光透射率为50％以上的胶片。

3.如权利要求1所述的喷墨头的喷射状态检查方法，其特征在于：

上述拍摄装置包括拍摄用相机和照亮上述拍摄用相机的可拍摄区域的照明装置；

上述拍摄用相机和上述照明装置与上述喷墨头夹着上述图像接收用测试介质并位于相反面侧。

4.如权利要求1所述的喷墨头的喷射状态检查方法，其特征在于：

上述检查用图案由从上述喷墨头喷射的上述墨液的墨点构成；

上述图像评价装置基于上述图像数据取得各个墨点的形态信息，并且将该墨点形态信息与预先设定的阈值比较，在上述墨点形态信息的值在上述阈值内时将与该墨点形态信息对应的上述喷墨头判断为正常，而在上述墨点形态信息的值在上述阈值外时将该喷墨头判断为不合格。

5.如权利要求4所述的喷墨头的喷射状态检查方法，其特征在于：

上述墨点形态信息包含针对上述墨点的直径、面积、形状、重心位置的信息。

6.如权利要求4所述的喷墨头的喷射状态检查方法，其特征在于：

上述图像评价装置基于上述墨点形态信息算出从上述喷墨头喷射的上述墨液的实际喷附位置与其理想喷附位置的差，算出上述喷墨头中的喷射定时的必要修正量、上述喷墨头位置的必要修正量。

7.如权利要求4所述的喷墨头的喷射状态检查方法，其特征在于：

上述图像评价装置基于上述墨点形态信息算出全部墨点的平均面积，用表示喷射量与墨点面积的关系的相关性表格算出每一个喷嘴的喷射量。

8.如权利要求1所述的喷墨头的喷射状态检查方法，其特征在于：

上述图像评价装置包括：对由上述拍摄装置取得的图像数据进行图像处理的图像处理部、以及根据图像处理后的数据检测上述墨液的喷射不合格的检查处理部。

9.如权利要求1所述的喷墨头的喷射状态检查方法，其特征在于：

在上述的检查用图案形成工序中，多次从上述喷墨头喷射上述墨液。

10.如权利要求1所述的喷墨头的喷射状态检查方法，其特征在于：

针对喷射多种颜色的上述墨液的上述喷墨头的每一个实施上述的检查用图案形成工序和上述的拍摄工序，在针对全部颜色的上述喷墨头结束上述的检查用图案形成工序和上述的拍摄工序之前，限制上述图像接收用测试介质的移动。

11.一种喷墨头的喷射状态检查装置，在利用喷墨方式制造电子器件时的墨水涂敷工序中，检查从喷墨头喷射的墨液的状态，其特征在于，包括：

利用从上述喷墨头喷射的上述墨液形成检查用图案的图像接收用测试介质；

对在上述图像接收用测试介质上形成的上述检查用图案进行拍摄的拍摄装置；

将上述图像接收用测试介质固定在能够利用上述拍摄装置拍摄上述墨液的喷附图像的可检查区域上的介质固定装置；以及

用由上述拍摄装置取得的上述检查用图案的图像数据，检查上述墨液的喷射状态的图像评价装置。