[发明专利]等离子体处理装置

权利要求书

1.一种等离子体处理装置，包括：

真空腔，形成容纳待处理对象的处理腔；

等离子体处理执行部分，在所述处理腔中的减小的压力状态下将等离子体产生气体引入所述处理腔中，通过施加高频电压来激励所述等离子体产生气体，并对容纳在所述处理腔中的待处理对象执行等离子体处理；以及

放电状态检测单元，检测所述处理腔中的异常放电，

其中，所述等离子体处理装置包括：

窗口部分，形成在所述真空腔处；

照相机，通过所述窗口部分来拍摄所述真空腔的内部的图像，并输出运动图像数据；

第一存储部分，存储从所述照相机输出的运动图像数据；

第二存储部分，存储从所述第一存储部分中提取的运动图像数据；以及

图像数据提取单元，当所述放电状态检测单元检测到异常放电时，所述图像数据提取单元从所述第一存储部分中至少提取示出所述异常放电的产生状态的运动图像数据，并且将所提取的运动图像数据存储到所述第二存储部分中。

2.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，

其中，所述图像数据提取单元从所述第一存储部分中提取与至少从异常放电的检测时间点往前预定时间的时间点到所述检测时间点的时间段对应的运动图像数据，并将所提取的运动图像数据存储到所述第二存储部分中。

3.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，

其中，所述图像数据提取单元从所述第一存储部分中提取与至少从通过激励等离子体产生气体而产生等离子体的等离子体产生时间点到所述检测时间点的时间段对应的运动图像数据，并将所提取的运动图像数据存储到所述第二存储部分中。

4.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，

其中，所述等离子体处理装置包括对象送入机构，用于将所述待处理对象送入到所述真空腔中，并且

其中，所述图像数据提取单元从所述第一存储部分中提取与从开始由所述对象送入机构将所述待处理对象送入所述真空腔中的操作的送入开始时间点到所述检测时间点的时间段对应的运动图像数据，并将所述运动图像数据存储到所述第二存储部分中。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的等离子体处理装置，

其中，所述窗口部分包括附接到所述真空腔的板形电介质构件，使得所述板形电介质构件的一面面对所述处理腔中产生的等离子体，并且

其中，所述放电状态检测单元包括：透明电极，被提供在所述电介质构件的另一面上；以及放电状态分析部分，接收根据所述等离子体的改变而在所述透明电极处感应的电势的改变，并检测异常放电的产生。

6.根据权利要求5所述的等离子体处理装置，包括：

第三存储部分，存储从所述透明电极接收的电势改变数据；

第四存储部分，存储从所述第三存储部分中读出的所述电势改变数据；以及

电势改变数据提取单元，当检测到异常放电时，所述电势改变数据提取单元从所述第三存储部分中至少读出表示所述异常放电的产生状态的电势改变数据，并将所述电势改变数据存储到所述第四存储部分中，

其中，存储在所述第二存储部分中的运动图像数据和存储在所述第四存储部分中的电势改变数据包括将所述运动图像数据与所述电势改变数据相关联的连接信息。