[发明专利]用于带状束的离子束角度校准和发射度测量系统

权利要求书

1.一种离子束角度校准和发射度测量系统，包括：

板，在所述板中具有细长缝，其中细长缝位于所述板的转动中心，用于使第一束部分在其中穿过；

束电流探测器，位于所述板的下游，其中束电流探测器中具有允许第一束部分的第二束部分从中穿过的缝，其中束电流探测器用于测量与第一束部分相关的第一束电流；

束角度探测器，位于束电流探测器的下游，用于探测与第二束部分相关的第二束电流；

其中所述板、束电流探测器和束角度探测器被设置为共同围绕所述板的转动中心旋转。

2.如权利要求1所述的离子束角度校准和发射度测量系统，其中控制器设置为计算作为摆动角度的函数的离子束发射度以及离子束角度，第一束电流和第二束电流位于一平面中或三维空间中，其中，所计算的离子束发射度值和离子束角度值能够被用于调整离子束。

3.如权利要求1所述的离子束角度校准和发射度测量系统，其中束电流探测器和束角度探测器一起被包封于外壳之中，所述外壳的外壳前表面具有替代所述板的细长缝；并且

其中外壳的第一端被连接至可转动的扫描臂的第一端。

4.如权利要求2所述的离子束角度校准和发射度测量系统，其中静电消除器位于紧邻在具有细长缝的外壳前表面的下游的位置处，并被设置成用于防止电子横穿所述消除器平面。

5.如权利要求1所述的离子束角度校准和发射度测量系统，

其中，扫描臂设置成围绕扫描臂轴转动；

其中，扫描臂连接到转动机器驱动臂；

其中，扫描臂设置成通过扫描步进电机被围绕扫描臂轴驱动；和

其中，机器驱动臂设置成通过驱动臂步进电机被围绕驱动臂轴驱动。

6.如权利要求3所述的离子束角度校准和发射度测量系统，

其中可转动的扫描臂和可转动的驱动臂共同形成了机器臂组件；和

其中，机器臂组件被设置成沿垂直于缝的方向，以直线或扫描运动移动外壳。

7.如权利要求3所述的离子束角度校准和发射度测量系统，

其中发射度剖线测量器法拉第系统的转动动作与直线或扫描运动同时进行。

8.如权利要求1所述的离子束角度校准和发射度测量系统，进一步包括与摆动驱动曲柄连接的DC伺服摆动电机；

其中摆动驱动曲柄连接至外壳并在负12度至正12度之间转动所述外壳表面。

9.如权利要求1所述的离子束角度校准和发射度测量系统，其中，组合的测量生成2个3-D轮廓，I(x，x’)和I(y，y’)和4个2-D轮廓I(x)，I(x’)，I(y)和I(y’)。

10.如权利要求1所述的离子束角度校准和发射度测量系统，其中，每一个数据点的束电流由下述公式定义：

[[dIdx]i=Di,3+Di,4S]]>

其中：

[dI/dx]_i是每一个数据点的束电流；

S是以英寸为单位的槽宽；

D(i，j)是所得到的具有i行和j列的数据阵列；

D_(i，3)是包含由轮廓法拉第杯生成的束电流样本的列；和

D_(i，4)是包含由角度法拉第杯生成的束电流样本的列。