[发明专利]热电转换模块的制造方法和热电转换模块

说明书

技术领域

本发明涉及热电转换模块的制造方法和热电转换模块。

背景技术

作为用于使热电转换模块高密度化的模块的制造方法的一种，举出使p型热电转换元件和n型热电转换元件之间的宽度缩窄的方法，但在该情况下，需要对p型热电转换元件与n型热电转换元件之间进行绝缘。在专利文献1中，公开了为了提高绝缘可靠性，在预先定位了的p型热电转换元件和n型热电转换元件之间的间隙中使绝缘性树脂流入的模块的制造方法。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2003-282972号公报。

发明内容

发明要解决的课题

可是，p型热电转换元件和n型热电转换元件的定位由于热电转换元件小等原因，是使热电转换模块的制造变得麻烦的一种作业。

因此，本发明的目的在于提供一种不需要热电转换元件的定位，能够获得绝缘性高且高密度的热电转换模块的热电转换模块的制造方法、以及由此制造的热电转换模块。

用于解决课题的方案

本发明热电转换模块的制造方法，具备：覆盖工序，以绝缘膜覆盖p型热电转换元件的表面中的至少除了应该与电极相向的面之外的面和/或n型热电转换元件的表面中的至少除了应该与电极相向的面之外的面；以及将p型热电转换元件的表面中的除了应该与电极相向的面之外的面、以及n型热电转换元件的表面中的除了应该与电极相向的面之外的面，经由绝缘膜重合的工序。

根据本发明，以绝缘膜覆盖p型热电转换元件的表面中的至少除了应该与电极相向的面之外的面和/或n型热电转换元件的表面中的至少除了应该与电极相向的面之外的面，将p型热电转换元件的表面中的除了应该与电极相向的面之外的面、以及n型热电转换元件的表面中的除了应该与电极相向的面之外的面，经由绝缘膜重合，因此p型热电转换元件和n型热电转换元件通过绝缘膜而被绝缘，不进行定位，就能够制造绝缘性高且高密度的热电转换模块。

在这里，优选在覆盖工序中，以绝缘膜覆盖p型热电转换元件的全部表面和/或n型热电转换元件的全部表面，进而，具备：绝缘膜除去工序，针对在重合工序中重合了的p型热电转换元件和n型热电转换元件，进行p型热电转换元件的表面中的应该与电极相向的面和/或n型热电转换元件的表面中的应该与电极相向的面的研磨，除去绝缘膜。

根据本发明，因为以绝缘膜覆盖p型热电转换元件的全部表面和/或n型热电转换元件的全部表面，所以对热电转换元件的表面覆盖绝缘膜的工序例如将p型热电转换元件和/或n型热电转换元件浸渍在用于形成绝缘膜的组成物中即可实现，变得简便。此外，针对经由绝缘膜重合了的p型热电转换元件和n型热电转换元件，除去p型热电转换元件的表面中的应该与电极相向的面和/或n型热电转换元件的表面中的应该与电极相向的面的绝缘膜的工序，也对各热电转换元件的与电极相向的面进行一次研磨来除去绝缘膜，因此比较简便。因此，与以和电极相向的面不被绝缘膜覆盖的方式仅对各热电转换元件的表面的一部分有选择地形成绝缘膜的情况相比，作为整体的工序被简略化。

此外，优选在绝缘膜除去工序之前，还具备：通过将在所述重合工序中重合了的p型热电转换元件和n型热电转换元件整体地固定，从而获得热电转换块的工序。

通过将经由绝缘膜重合的p型热电转换元件和n型热电转换元件整体地固定，形成热电转换块，重合的p型热电转换元件和n型热电转换元件被充分固定。由此，在本工序后，能够容易地进行用于除去p型热电转换元件的表面中的与电极相向的面和/或n型热电转换元件电极的表面中的与电极相向的面的绝缘膜的研磨。进而，能够容易地对该热电转换块进行电极的接合等。

此外，本发明的热电转换模块具有：p型热电转换元件；n型热电转换元件；电极，对p型热电转换元件和n型热电转换元件进行电连接；绝缘膜，覆盖p型热电转换元件的表面中的除了与电极相向的面之外的面；以及绝缘膜，覆盖n型热电转换元件的表面中的除了与电极相向的面之外的面，p型热电转换元件和n型热电转换元件经由2个绝缘膜重合。

根据本发明，以绝缘膜覆盖p型热电转换元件的表面中的除了与电极相向的面之外的面、以及n型热电转换元件的表面中的除了与电极相向的面之外的面，并且p型热电转换元件和n型热电转换元件经由2个绝缘膜重合，由此能够提供p型热电转换元件和n型热电转换元件的绝缘可靠性特别优越，并且高密度的热电转换模块。

发明的效果