[发明专利]多层的化学机械平面化垫体

权利要求书

1.一种化学机械平面化垫体，包含：

一第一组成部分，包含一水溶性成分及一水不溶性成分，该水不溶性成分于水中表现出一小于该水溶性成分的溶解度，且该第一组成部分的该水溶性成分与该水不溶性成分的至少其中之一由纤维形成；以及

一第二组成部分，其中该第一组成部分于该第二组成部分的一连续中呈现一离散相，且该水溶性成分于溶解时提供孔隙，这些孔隙具有10纳米至200微米的一尺寸。

2.如权利要求1所述的垫体，其中该水溶性成分包含一第一纤维，且该水不溶性成分包含一第二纤维，且该第一纤维及该第二纤维形成一织物。

3.如权利要求2所述的垫体，其中该织物为一非织织物。

4.如权利要求1所述的垫体，其中该水溶性成分包含一第一纤维，该第一纤维形成一第一织物，且该水不溶性成分包含一第二纤维，该第二纤维形成一第二织物，且该第一织物与该第二织物层迭。

5.如权利要求1所述的垫体，其中该水溶性成分包含数个水溶性粒子，且该水不溶性成分包含一基质，这些水溶性粒子嵌于该基质中。

6.如权利要求1至5中任一所述的垫体，其中该水溶性材料包含选自以下群组之一或材料：聚乙烯醇、聚丙烯酸、马来酸、藻酸盐、多聚糖、聚环糊精、以及其盐类、共聚物及/或衍生物。

7.如权利要求1至6中任一所述的垫体，其中该水不溶性材料包含选自以下群组之一或多种材料：聚酯、聚酰胺、聚烯烃、人造丝、聚酰亚胺、聚苯硫醚及其组合。

8.如权利要求1至7中任一所述的垫体，其中该第二组成部分包含选自以下群组的一或多种材料：聚碳酸酯、聚砜、聚亚苯基硫醚、环氧树脂、各种聚酯、聚酰亚胺、聚酰胺、聚烯烃、聚丙烯酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚氯乙烯、聚乙烯醇、其衍生物及其共聚物。

9.如权利要求1至8中任一所述的垫体，其中该第二组成部分包含至少二种可混溶的水不溶性材料。

10.如权利要求1至9中任一所述的垫体，其中该水不溶性材料表现出一萧氏硬度A10至超过萧氏硬度D80的硬度计硬度，且该第二组成部分表现出一萧氏硬度A30至超过萧氏硬度D80的硬度计硬度。

11.一种制造如权利要求1至10中任一所述的化学机械平面化垫体的方法，包含：

制造包含该水溶性材料及该水不溶性材料的该第一组成部分；以及

将该第一组成部分以离散相嵌于该第二组成部分的一连续相中，其中该水溶性材料于溶解时提供数个孔隙，这些孔隙具有一介于10纳米至200微米范围的尺寸。

12.如权利要求11所述的方法，更包含：

移除嵌于该第二组成部分中的该水溶性材料的至少一部分。

13.如权利要求11至12中任一所述的方法，其中该水溶性成分包含一第一纤维，且该水不溶性成分包含一第二纤维，且该第一纤维及该第二纤维形成一织物。

14.如权利要求13所述的方法，其中该织物为一非织织物。

15.如权利要求11至12中任一所述的方法，其中该水溶性成分包含一第一纤维，该第一纤维形成一第一织物，且该水不溶性成分包含一第二纤维，该第二纤维形成一第二织物，且该第一织物与该第二织物层迭。

16.如权利要求11至12中任一所述的方法，其中该水溶性成分包含数个水溶性粒子，且该水不溶性成分包含一基质，这些水溶性粒子嵌于该基质中。

17.如权利要求11至16中任一所述的方法，更包含放置该第一组成部分于一模具内并浇注该第二组成部分的一前体至该模具内，且使该前体反应以将该第一组成部分嵌于该第二组成部分中。

18.如权利要求11至17中任一所述的方法，更包含放置该第一组成部分于一模具内；熔化该第二组成部分；以及将该第二组成部分置于该模具中以将该第一组成部分嵌于该第二组成部分中。

19.如权利要求11至18中任一所述的方法，其中该第二组成部分包含至少二种可混溶的水不溶性材料。

20.一种抛光一基板的方法，包含：

使一基板接触一浆液及如权利要求1至10中任一所述的化学机械平面化垫体。