[发明专利]显示装置有效
| 申请号： | 201080003695.9 | 申请日： | 2010-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN102265323A | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 后藤裕史;三木绫;富久胜文;越智元隆;大西隆;钉宫敏洋 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | G09F9/30 | 分类号： | G09F9/30;C22C9/00;C22C9/04;C22C9/05;C22C9/06;C23C14/14;G02F1/1343;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/786 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 雒运朴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 显示装置 | ||
1.一种显示装置，在透明基板上具有与透明基板直接接触的显示装置用Cu合金膜，其中，
所述Cu合金膜具有层叠结构，该层叠结构包含：
由Cu合金构成的第一层(Y)，该Cu合金包含总计为2～20原子％的从由Zn、Ni、Ti、Al、Mg、Ca、W、Nb及Mn构成的组中选择出的至少1种元素；
由纯Cu构成的第二层(X)、或实质上由以Cu为主成分且电阻率比所述第一层(Y)低的Cu合金构成的第二层(X)，
所述第一层(Y)与所述透明基板接触。
2.根据权利要求1所述的显示装置，其中，
所述第一层(Y)的膜厚为10nm以上100nm以下，且相对于Cu合金膜的总膜厚为60％以下。
3.根据权利要求1所述的显示装置，其中，
所述第一层(Y)至少含有Mn，且所述第一层(Y)的膜厚为10nm以上100nm以下。
4.根据权利要求1所述的显示装置，其中，
所述第一层(Y)至少含有Zn或Ni，且所述第一层(Y)的膜厚为20nm以上100nm以下。
5.根据权利要求1所述的显示装置，其中，
所述第一层(Y)至少含有Mn，所述第一层(Y)的膜厚TM(nm)和Mn的M含量(原子％)满足TM≥230M-1.2的关系。
6.根据权利要求1所述的显示装置，其中，
所述Cu合金膜是在250℃以上进行了5分钟以上热处理后的膜。
7.根据权利要求1所述的显示装置，其中，
所述透明基板的材料是钠钙玻璃。
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