[发明专利]EL显示面板、EL显示装置及EL显示面板的制造方法有效
申请号: | 201080003324.0 | 申请日: | 2010-09-29 |
公开(公告)号: | CN102741905A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 钟之江有宣 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | G09F9/30 | 分类号: | G09F9/30;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/10 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 周春燕;段承恩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | el 显示 面板 显示装置 制造 方法 | ||
1.一种EL显示面板,其具备EL部和对所述EL部的发光进行控制的薄膜半导体部,
所述EL部包含阳极电极、阴极电极和介于所述阳极电极与所述阴极电极之间的发光层;
所述薄膜半导体部包含:
基板;
栅电极,其形成于所述基板上;
栅极绝缘膜,其覆盖所述栅电极而形成于所述基板上;
半导体层,其形成在所述栅极绝缘膜上所述栅电极的上方;
第1电极,其形成于所述半导体层的上方;
第2电极,其形成于与所述第1电极相同的层;
第1电源布线,其与所述第2电极电连接,形成于与所述第2电极相同的层;
第1层间绝缘膜,其覆盖所述第1电极及所述第2电极而形成于所述栅极绝缘膜的上方;
栅极布线,其形成于与形成有所述栅电极的层不同的层即所述第1层间绝缘膜上,配置为与所述第1电源布线交叉;
第2电源布线,其与所述栅极布线形成于相同的层并且与所述栅极布线并行地配置;以及
辅助布线,其与所述第2电源布线形成于相同的层并且与所述第2电源布线并行地配置;
所述栅电极与所述栅极布线经由第1导电部电连接,所述第1导电部设置为贯通所述栅极绝缘膜及所述第1层间绝缘膜;
所述第1电源布线与所述第2电源布线经由第2导电部电连接,所述第2导电部设置为贯通所述第1层间绝缘膜;
所述辅助布线与所述阴极电极电连接。
2.根据权利要求1所述的EL显示面板,
所述第2电源布线及所述辅助布线形成为与所述栅极布线同一或预定的近似值的高度;
所述第2电源布线及所述辅助布线配置于相邻的2条所述栅极布线之间;
所述第2电源布线及所述辅助布线双方组合而得到的宽度与所述相邻的2条栅极布线之间的宽度对应。
3.根据权利要求2所述的EL显示面板,
所述第2电源布线或所述辅助布线与所述相邻的2条栅极布线的距离分别为4μm以上。
4.根据权利要求1所述的EL显示面板,
所述第2电源布线及所述辅助布线形成为与所述栅极布线同一或预定的近似值的高度;
所述第2电源布线及所述辅助布线以填埋相邻的2条所述栅极布线之间的方式,与所述栅极布线接近地配置。
5.根据权利要求1所述的EL显示面板,
所述第2电源布线及所述辅助布线形成为与所述栅极布线同一或预定的近似值的高度;
所述第2电源布线及所述辅助布线是具有比所述第1电源布线的宽度宽阔的宽度的布线。
6.根据权利要求2~5中的任意一项所述的EL显示面板,
所述第2电源布线及所述辅助布线都具有均匀的膜厚,并且按照所述电源布线及所述辅助布线的下层的表面形状而形成。
7.根据权利要求1~6中的任意一项所述的EL显示面板,
所述半导体层为n沟道型;
所述第2电源布线的至少一部分配置为与所述半导体层不重叠。
8.根据权利要求1~6中的任意一项所述的EL显示面板,
所述半导体层为p沟道型;
所述第2电源布线的至少一部分配置为与所述半导体层重叠。
9.根据权利要求1~8中的任意一项所述的EL显示面板,
所述第1电极为源电极,所述第2电极为漏电极。
10.根据权利要求1~8中的任意一项所述的EL显示面板,
所述第1电极为漏电极,所述第2电极为源电极。
11.根据权利要求1~10中的任意一项所述的EL显示面板,
通过由形成有所述栅极布线的层和形成有所述第1电源布线的层所夹的所述第1层间绝缘膜形成的单位面积的电容,比通过由形成有所述栅电极的层和形成有所述第1电源布线的层所夹的所述栅极绝缘膜形成的单位面积的电容小。
12.根据权利要求11所述的EL显示面板,
通过所述第2层间绝缘膜形成的电容小于1.5×10-4F/m2;
由所述栅极绝缘膜形成的电容为1.5×10-4F/m2以上。
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