[发明专利]微粒检测装置

权利要求书

1.一种微粒检测装置，对气体中的微粒进行测定，其特征在于，具有：

频率控制单元，其对在分开配置的一对电极上所施加的交流电压的频率进行控制；

交流阻抗检测单元，其对被施加不同频率的交流电压时与各频率对应的阻抗进行检测；

分量计算单元，其对与上述各频率对应的阻抗的电阻分量及/或电容分量进行计算；

微粒粒径推定单元，其根据上述电阻分量及/或上述电容分量的变化来推定气体中的微粒的平均粒径及/或微粒的数量。

2.根据权利要求1所述的微粒检测装置，其特征在于，

上述分量计算单元计算出上述电阻分量及/或上述电容分量中的、由微粒的内部特性引起的粒子内分量、以及由微粒间的界面特性引起的晶界分量，

上述微粒粒径推定单元根据上述粒子内分量与上述晶界分量之间的比较结果来推定上述微粒的平均粒径及/或微粒的数量。

3.根据权利要求2所述的微粒检测装置，其特征在于，还具有根据上述电阻分量中的上述粒子内分量和上述晶界分量来推定气体中的微粒的量的微粒量推定单元。

4.根据权利要求1或2所述的微粒检测装置，其特征在于，还具有：

对上述电极间的电阻进行检测的电极间电阻检测单元、以及

根据检测到的电极间的电阻来推定气体中的微粒的量的微粒量推定单元。

5.根据权利要求4所述的微粒检测装置，其特征在于，

还具有饱和状态判断单元，其对被推定出的微粒的量是否达到表示饱和状态的基准量进行判断，

在判断为上述微粒的量已达到上述基准量时，上述交流阻抗检测单元执行对阻抗的检测。

6.一种微粒检测装置，对气体中的微粒进行测定，其特征在于，具有：

频率控制单元，其对在分开配置的一对电极上所施加的交流电压的频率进行控制；

交流阻抗检测单元，其施加不同频率的交流电压，并对与各频率对应的阻抗进行检测；

粒子分量计算单元，其将与上述各频率对应的阻抗的电阻分量分为由微粒的内部特性以及界面特性引起的粒子电阻分量和由其它原因引起的分量来进行计算；

微粒量推定单元，其根据上述电阻分量中的上述粒子电阻分量来推定微粒的量。