[实用新型]三氯氢硅尾气吸收装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种三氯氢硅生产装置，具体是一种三氯氢硅尾气吸收装置。

背景技术

三氯氢硅是合成有机硅的重要中间体，也是制备多晶硅的主要原料。制备三氯氢硅比较成熟的工艺是采用金属硅粉和气体氯化氢制备，其主要流程包括：氯化氢合成、三氯氢硅合成、三氯氢硅分离等主要工序。

三氯氢硅制备过程中产生的尾气主要成分是氢气、氯化氢和氯硅烷，其处理方法是国内业界的热点话题之一，现有技术中一般采用尾气-水喷淋中和处理法、活性炭吸附法、气液交换法等。其不足之处是：尾气中的氢气不能有效利用、处理不彻底等。

发明内容

为解决现有技术中的不足之处，申请人研发了一种尾气吸收-变压吸附装置，本实用新型是该装置中的一部分，目的是吸收尾气中的氯化氢。

本实用新型具体采用如下技术方案：

一种三氯氢硅尾气吸收装置，其特征是，包括采用管路依次连接的吸收塔、热交换器和脱洗塔，脱洗塔塔底与吸收塔塔顶采用吸附剂管路连接。

所述脱洗塔塔顶具有冷凝器，塔底与再沸器循环连接。

与现有技术相比，本实用新型优点在于：

1)本实用新型能够吸收三氯氢硅尾气中的HCI，经过本实用新型处理后，尾气中氢气含量可达到98.5％，为进一步处理创造了条件；

2)本实用新型不排放废气、废液，吸附剂能够循环使用。

附图说明

图1是本实用新型设备连接框图；

图中，1-吸收塔，2-换热器，3-再沸器，4-脱洗塔，5-冷凝器。

具体实施方式

如图1所示，原料气从吸收塔1的底部进入与顶部进入的吸附剂逆流液相接触，尾气中的HCI被全部吸收，吸附剂来自脱洗塔4的吸附剂贫液；吸收后的尾气去下工序，吸收后的吸附剂富液经过换热器2换热后进入脱洗塔4脱洗吸附剂中的HCI。脱洗塔4底部循环连接再沸器3，用于控制塔温，顶部具有冷凝器5用于冷凝吸附剂，脱洗后的HCL自塔顶排出。