[实用新型]一种高纯度三氯氧磷储运供料装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种剧毒危险品高纯度三氯氧磷的储运供料使用装置。

背景技术

高纯度的三氯氧磷(99.9999％～99.99999％)是生产制造光纤预制棒的主要原材料之一，也是集成电路、太阳能电池、电子元器件生产过程的扩散、掺杂工艺中的主要原料，被广泛运用于光伏、IC产业。但其属于强腐蚀性、强氧化性、剧毒、遇水剧烈反应的无色透明化学品。目前对高纯度三氯氧磷的储运供料一种是使用高纯石英容器(0.4～1.5L)盛装，进出高纯氮气管采用PFA阀门密封、连接，作为运输和使用容器，其缺点是玻璃容器易碎、换瓶频繁、操作危险、泄漏风险高、人力成本高、物流成本高；另一种是使用19L不锈钢SS316L储罐，其缺点是操作烦琐、装置结构复杂、工作压力高、装置自身成本高、维护成本高(需专业维护人员)，且不能彻底杜绝金属杂质对物料的污染。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种结构简单、安全可靠、无泄漏、无污染、使用方便，运行成本低的高纯度三氯氧磷储运供料装置。

本实用新型的目的是这样实现的：高纯三氯氧磷容器上有氮气入口阀、回料口阀门、出料口阀门，高纯三氯氧磷容器连接高位槽，高位槽回接到高纯三氯氧磷容器的回料口阀门，形成物料循环，高位槽连接石英鼓泡器，石英鼓泡器连接磷扩散器，石英鼓泡器回接到高纯三氯氧磷容器的回料管。

石英鼓泡器上有高纯氮气进气阀。

由于本实用新型采用了上述结构，减少了操作的劳动强度，节约人力成本；增加了操作的安全性，同时减少了物料污染的几率；增强了操作系统的连续性，简化了操作的难易度；极大地减少了顾客的购置和维护成本；全PFA材料彻底杜绝了玻璃材料和其他材料的金属杂质溶出风险；极大地减少了生产和物流成本，采用带有特殊出料管的石英鼓泡器，杜绝了加料时液位过高和溢出的风险，因此，受到三氯氧磷使用厂家的广泛欢迎。

附图说明

图1为本实用新型第一实施例的结构图。

图2为本实用新型第二实施例的结构图。

图中1高纯三氯氧磷容器、2氮气入口阀、3回料口阀门、4出料口阀门、5高纯度耐腐蚀泵、6单向阀、7高纯氮气调压阀、8高纯氮气进气阀、9高位槽、10高位槽出料阀、11鼓泡器加料阀、12第一磷扩散器、13第一石英鼓泡器、14第二石英鼓泡器、15第三石英鼓泡器、16磷扩散器阀门、17石英鼓泡器回料阀门、18第二磷扩散器、19第三磷扩散器。

具体实施方式

实施例1：高纯三氯氧磷容器1上有氮气入口阀2、回料口阀门3、出料口阀门4，高纯三氯氧磷容器1通过出料口阀门4和高纯耐腐蚀泵5连接高位槽9，高位槽9通过回料管连接高纯三氯氧磷容器1的回料口阀门3，形成物料循环，高位槽9通过高位槽出料阀10、鼓泡器加料阀11连接第一石英鼓泡器13，第一石英鼓泡器13通过磷扩散器阀门16连接第一磷扩散器12，第二石英鼓泡器14连接第二磷扩散器18，第三石英鼓泡器15连接第三磷扩散器19，带高纯氮气进气阀8的第一石英鼓泡器13通过石英鼓泡器回料阀门17与第二石英鼓泡器14、第三石英鼓泡器15串联并回接到高纯三氯氧磷容器1的回料管中，高纯氮气调压阀7通过单向阀6连接高纯三氯氧磷容器1上的回料口阀门3。

该装置的所有管件、阀门均由高纯PFA制成。高纯三氯氧磷容器1材质为进口高纯PFA，容积为20L-200L，在生产厂家完成灌装并安全运送到使用厂家，高纯氮气通过高纯氮气调压阀7和单向阀6分别连接至高纯三氯氧磷容器1和尾气系统，在开路状态下保证高纯三氯氧磷容器1罐内压力平衡。高纯三氯氧磷容器1的出料口阀门4连接高纯耐腐蚀泵5，高纯耐腐蚀泵5连接高位槽9，高位槽9通过回料管连接三氯氧磷容器1的回料口阀门3，形成物料循环。高位槽9连接第一石英鼓泡器13，第一石英鼓泡器13连接第一磷扩散器12。

该装置由高纯度耐腐蚀泵5提供运输动力，将物料由出料口端输送到高位槽9中，再由高位槽9形成的液位差作用将物料运送到各石英鼓泡器中，使用时，调节高纯氮气调压阀7至合适压力，打开氮气入口阀2，氮气分别流入高纯三氯氧磷容器1和尾气系统。打开出料口阀门4、回料口阀门3，启动高纯度耐腐蚀泵5将物料由高纯三氯氧磷容器1输送到高位槽9，再经由回料口阀门3流回高纯三氯氧磷容器1，关闭出料口阀门4和回料口阀门3，关闭高纯度耐腐蚀泵5，关闭磷扩散器阀门16，开启高位槽出料阀10、鼓泡器加料阀11、石英鼓泡器回料阀门17，物料流入石英鼓泡器中。三个石英鼓泡器串联连接，物料在第一石英鼓泡器13中达到一定高度后流入第二石英鼓泡器14，再流入第三石英鼓泡器15，最终回到高纯三氯氧磷容器1中，完成全部加料过程。