[实用新型]一种高纯度三氯氧磷抽真空储运供料装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种剧毒危险品高纯度三氯氧磷的储运供料装置。

背景技术

高纯度的三氯氧磷(99.9999％～99.99999％)是生产制造光纤预制棒的主要原材料之一，也是集成电路、太阳能电池、电子元器件生产过程的扩散、掺杂工艺中的主要原料，被广泛运用于光伏、IC产业。但其属于强腐蚀性、强氧化性、剧毒、遇水剧烈反应的无色透明化学品。目前对高纯度三氯氧磷的储运供料一种是使用高纯石英容器(0.4～1.5L)盛装，进出高纯氮气管采用PFA阀门密封、连接，作为运输和使用容器，其缺点是玻璃容器易碎、换瓶频繁、操作危险、泄漏风险高、人力成本高、物流成本高；另一种是使用19L不锈钢SS316L储罐，其缺点是操作烦琐、装置结构复杂、装置自身成本高、维护成本高(需专业维护人员)，且不能彻底杜绝金属杂质对物料的污染。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种结构简单、安全可靠、无泄漏、无污染、使用方便，运行成本低的高纯度三氯氧磷抽真空储运供料装置。

本实用新型的目的是这样实现的：高纯三氯氧磷容器连接带高位超声波液位控制器和低位超声波液位控制器的石英鼓泡器，石英鼓泡器连接扩散炉，真空管插入石英鼓泡器内。

石英鼓泡器上有高纯氮气鼓泡阀。

高纯三氯氧磷容器上的氮气入口阀通过单向阀连接氮气减压阀。

由于本实用新型采用了上述结构，减少了操作的劳动强度，节约人力成本；增加了操作的安全性，同时减少了物料污染的几率；增强了操作系统的连续性，简化了操作的难易度；极大地减少了顾客的购置和维护成本；全PFA材料彻底杜绝了玻璃材料和其他材料的金属杂质溶出风险；极大地减少了生产和物流成本，因此，受到三氯氧磷使用厂家的广泛欢迎。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构图。

图中1高纯三氯氧磷容器、2氮气入口阀、3出料口阀门、4单向阀、5氮气减压阀、6鼓泡器进料阀、7扩散炉、8石英鼓泡器、9抽真空端、10高纯氮气鼓泡阀、11低位超声波液位控制器、12高位超声波液位控制器、13真空管。

具体实施方式

实施例：高纯三氯氧磷容器1通过管道上的出料口阀门3、鼓泡器进料阀6连接带高位超声波液位控制器12和低位超声波液位控制器11的石英鼓泡器8，石英鼓泡器8连接扩散炉7，真空管13插入石英鼓泡器8内，石英鼓泡器8上有高纯氮气鼓泡阀10，高纯三氯氧磷容器1上的氮气入口阀通过单向阀4连接氮气减压阀5。

高纯三氯氧磷容器1材质为进口高纯PFA，容积为20L-200L，在生产厂家完成灌装并安全运送到使用厂家，高纯氮气通过氮气减压阀5连接单向阀4，单向阀4通过氮气入口阀2连接高纯三氯氧磷容器1，高纯三氯氧磷容器1上的出料口阀门3连接鼓泡器进料阀6，鼓泡器进料阀6连接石英鼓泡器8，石英鼓泡器8连接扩散炉7，石英鼓泡器8上有高纯氮气鼓泡阀10、高位超声波液位控制器12、低位超声波液位控制器11和抽真空管13。

该装置的所有管件、阀门均由高纯PFA制成。低位超声波液位控制器11发出鸣叫提示加料，调节氮气减压阀5至合适压力，依次打开氮气入口阀2、出料口阀门3、鼓泡器进料阀6，抽真空端9开始抽真空，物料由高纯三氯氧磷容器1缓缓进入石英鼓泡器8，当物料达到设定液位高度时，高位超声波液位控制器12发出鸣叫，依次关闭抽真空端9、鼓泡器进料阀6、出料口阀门3、氮气入口阀2，高纯氮气鼓泡将物料带入扩散炉10，完成加料过程。