[实用新型]辉光放电离子源装置用电源有效
申请号: | 201020697898.X | 申请日: | 2010-12-27 |
公开(公告)号: | CN201936841U | 公开(公告)日: | 2011-08-17 |
发明(设计)人: | 刘湘生;刘英;潘元海;李继东;王长华 | 申请(专利权)人: | 北京有色金属研究总院 |
主分类号: | H01J49/02 | 分类号: | H01J49/02;H01J49/12 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 赵郁军 |
地址: | 100088*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 辉光 放电 离子源 装置 用电 | ||
1.一种辉光放电离子源装置用电源,其特征在于:它包括高压变压器、桥式整流电路、LC滤波电路、稳压电路,该稳压电路包括调整电路、取样电路、比较放大电路、基准电压电路,其中:
该高压变压器的输出端依次经由该桥式整流电路、LC滤波电路与该调整电路的输入端连接,该调整电路的正、负输出端分别与辉光放电离子源装置中的采样盘体、样品盘体连接,该调整电路的正、负输出端与该取样电路的输入端连接,该取样电路的输出端、该基准电压电路的输出端分别与该比较放大电路的两个输入端连接,该比较放大电路的输出端与该调整电路的调整端连接,220伏交流电压源向该高压变压器和比较放大电路提供220伏交流电压。
2.如权利要求1所述的电源,其特征在于:
所述调整电路由两个功率放大管并联构成。
3.如权利要求1所述的电源,其特征在于:
所述基准电压电路由三个稳压管串联构成。
4.如权利要求1所述的电源,其特征在于:
所述取样电路由三个精密电位器和十个变阻器构成。
5.如权利要求2所述的电源,其特征在于:
所述两个功率放大管的输出端连接一个断流电路,该断流电路的正、负输出端分别与所述采样盘体、样品盘体连接;所述辉光放电离子源装置中设置的检测端与过载短路保护电路的输入端连接,该过载短路保护电路的输出端与该断流电路的控制端连接。
6.如权利要求5所述的电源,其特征在于:
所述断流电路由闸流管构成。
7.如权利要求5所述的电源,其特征在于:
所述高压变压器、取样电路、过载短路保护电路的控制端分别与自动控制电路上相应的控制端连接,该自动控制电路由直流稳压电源供电,该直流稳压电源与220伏交流电压源连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京有色金属研究总院,未经北京有色金属研究总院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201020697898.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:半导体封装行业使用的带弹力的顶针
- 下一篇:断路器用改良永磁装置