[实用新型]一种可调式半导体去溢料高压喷淋装置有效
| 申请号： | 201020690408.3 | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN201997420U | 公开（公告）日： | 2011-10-05 |
| 发明（设计）人： | 胥小平;晏承亮;梁国雄;黄良洲 | 申请（专利权）人： | 广东风华高新科技股份有限公司;广东省粤晶高科股份有限公司;肇庆风华新谷微电子有限公司 |
| 主分类号： | B05B15/08 | 分类号： | B05B15/08;B05B1/02;B08B3/02;H01L21/56 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人： | 华辉 |
| 地址： | 526020 广东省肇庆*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 调式 半导体 去溢料 高压 喷淋 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种可调式半导体去溢料高压喷淋装置，包括喷嘴组件，其特征在于：所述喷嘴组件的喷嘴出水口形状为椭圆形。
2.根据权利要求1所述的可调式半导体去溢料高压喷淋装置，其特征在于：还包括与上述喷嘴组件连接的喷嘴上下移动调整装置。
3.根据权利要求2所述的可调式半导体去溢料高压喷淋装置，其特征在于：所述喷嘴上下移动调整装置包括位于上述喷嘴组件两侧的导轨和喷嘴位置调整装置，所述喷嘴组件可在该导轨上自由滑动。
4.根据权利要求3所述的可调式半导体去溢料高压喷淋装置，其特征在于：所述导轨两端设有上固定块和底板，所述喷嘴位置调整装置包括一端与所述喷嘴组件连接的丝杆，该丝杆另一端穿过所述上固定块连接一调整旋钮，该丝杆和上固定块为螺纹连接。
5.根据权利要求4所述的可调式半导体去溢料高压喷淋装置，其特征在于：所述喷嘴组件和丝杆之间设有挂钩。
6.根据权利要求2至5任一项所述的可调式半导体去溢料高压喷淋装置，其特征在于：所述喷嘴组件包括与喷嘴上下移动装置连接的基座，该基座两端设有连接头，该基座一端的连接头连接喷嘴，该喷嘴另一端设有密封圈和喷嘴套。
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