[实用新型]全自动大功率中高频交流电源切换装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种全自动大功率中高频率交流电源切换装置，尤其涉及一种真空磁控溅射玻璃镀膜设备自然风冷式全自动大功率中高频交流电源切换装置。

背景技术

随着全社会对节能减排和环境保护的日益重视，以及对建筑外观的个性化程度要求越来越高，低辐射Low-E镀膜玻璃的应用范围越来越广，用量也越来越大，并且在最近几年，随着建筑节能法规的日益完善，一批批代表着世界高端技术水准的产品如Double Low-E(双银低辐射镀膜玻璃)和Triple Low-E(三银低辐射镀膜玻璃)也不断地被开发出来，并日渐为高端市场所接受，这些高端产品在国内也逐渐为许多具有高度社会责任感以及追求差异化，个性化的高端用户所推崇。

在这种情形下，国内的玻璃深加工企业对于镀膜玻璃产品的研发力度都相当的重视，而作为企业核心设备的真空磁控溅射玻璃镀膜生产线则是产品研发的基本平台也是实现产品更新换代的最重要的依仗。

由于最近几年玻璃镀膜技术的迅猛发展，在短短几年之内迅速从单银镀膜产品升级到双银产品和三银产品。原有的镀膜生产线普遍不具备研发和生产双银，三银产品的能力。企业要在这波产品升级换代的浪潮中继续处于市场领导地位，升级和改造原有设备就成为一个必然的趋势。

从单银产品升级到双银和三银产品，主要的区别是膜层的复合程度更加高，要求需要更多的靶位来放置不同的金属或金属氧化物的材料来实现更加复杂的膜层堆积，通常单银Low-E镀膜玻璃需要5-6种膜层，而双银Low-E镀膜玻璃需要9-10种膜层，三银Low-E镀膜玻璃的膜层多达15种左右。

由于Low-E玻璃的每层膜层都非常薄，厚度从20nm-90nm左右，在这么薄的厚度上要控制膜层的均匀性就显得尤为重要了。这种均匀性的控制主要是通过对真空度的控制，和中高频交流溅射电源的输出功率控制来实现的。因此如何保证中高频交流溅射电源的输出稳定性就显得尤为重要了。

原有磁控溅射镀膜设备的一个阴极配置有一个中高频交流溅射电源，现在的升级改造是在原先的空位上自行安装阴极靶位，以及相应的溅射电源。

第一种是采用手动控制方式，采用一个类似的单刀双掷的开关可以达到一个电源控制两个阴极靶位的效果，这是个最方便的解决方案，可是这个方案的弊端也是非常明显的。一)由于生产线非常长，并且使用非常先进的集中控制方式，操作人员在控制室内就能控制一切的操作。二)使用手动切换方式必须每次需要操作人员到现场手动进行切换操作，这样即减缓了生产节奏，又由于有人为因素的参与增加了磁控溅射阴极切换电源的不准确性，容易导致整个生产工艺的不稳定性，极易造成产品质量问题，影响镀膜的生产产量，并且容易发生带电操作等危险的情况。第二种方式是采用自动切换装置，现在国内的类似的中高频自动切换装置，在这种功率状况下，都是采用水冷方式来冷却该大功率中高频电源切换装置。这样就带来了几个问题1)、占地空间较大，需要有专门的控制柜来容纳电源切换装置；2)、需要有固定的冷却水来冷却该装置，必须安装庞大的冷却水管道。而我们的现场由于地方比较紧凑，也没有冷却水源，并且还有两个比较大的弊端是万一冷却水系统发生泄露就会造成不可估量的损失，风险非常大，另外是由于这是个新增加的设备，无法集成到原有的控制系统中，因此还是一个独立的设备，可控性和安全连锁问题不能很好解决。

基于以上的原因最终采用一款自然风冷式全自动中高频交流电源切换装置，并且自己将此装置的自控系统和安全连锁系统无缝地集成到原有的控制系统中去。

实用新型内容

本实用新型的所要解决的技术问题是，针对已有的真空磁控溅射玻璃镀膜设备大功率中高频交流电源切换装置存在的使用不便的问题，提供一种占用空间小、使用方便的全自动大功率中高频率交流电源切换装置。

本实用新型通过下列技术方案解决上述技术问题：

一种全自动大功率中高频交流电源切换装置，在一支架上设有一雌头电源切换箱和二雄头电源切换箱，雌头电源切换箱置于一纵向导轨上，受PLC控制前后移动，二雄头电源切换箱各置于一横向导轨上，受PLC控制左右移动，每个雄头电源切换箱分别设有二个电极，雌头电源切换箱相应地设有二个插孔，磁控溅射镀膜的阴极分别与二个雄头电源切换箱上的电源连接；左右移动的二个雄头电源切换箱以及前后移动的雌头电源切换箱能使雄头电源切换箱上的电极插进雄头电源切换箱上的插孔内。

所述的雌头电源切换箱、雄头电源切换箱由电磁阀控制的气缸控制进行移动电磁阀由PLC软件控制开关。