[实用新型]一种硅料的酸浸泡装置

说明书

技术领域

本实用新型属于半导体材料清洗设备领域，具体地说，涉及一种硅料的酸浸泡装置。 

背景技术

硅是一种重要的半导体材料，可广泛用于二极管、三极管、发光器件、压敏元件、太阳能电池等元器件。但硅作为一种不可再生资源，其存储量有限，且原生多晶硅价格昂贵，因此充分利用生产过程中的回收硅料显得很重要。 

在太阳能级多晶硅片制造过程中，硅料清洗时，特别是单晶锅底料、多晶硅锭的杂质层需要用酸液浸泡来去除硅料中的杂质，而现有的酸浸泡只是简单的采用一个容器来去除硅料中的杂质，其缺陷在于，不能将酸浸泡、废酸收集、纯水浸泡、排酸雾的功能于一体，不利于高效地完成硅料的酸浸泡。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅料的酸浸泡装置，不仅能集酸浸泡、废酸收集、纯水浸泡、排酸雾的功能于一体，而且方便、高效地去除硅料中的杂质，以实现硅料更有效的回收。 

本实用新型为了实现上述目的而采取的技术方案，包括酸浸泡容器和盖子,其中酸浸泡容器的底部设有纯水进水管,酸浸泡容器的一侧上端设有溢流槽和溢流管，浸泡容器的另一侧上端设有排风管,下端设有排酸管，该装置由耐酸材料制作而成。 

所述的酸浸泡容器上面可增加抽风装置，在加酸时打开抽风装置。 

所述的酸浸泡容器上增加酸液循环设备，使酸液在酸浸泡容器中流动。 

所述的硅料为耐酸篮装浸泡的硅料，再把耐酸篮放入酸浸泡容器里。 

与现有技术相比，本实用新型的优点在于， 

1、本实用新型的硅料酸浸泡装置及浸泡方法操作方便，安全可靠，可有效去除硅料表面杂质，提高硅料使用的质量；

2、使用耐酸材料制备成容器，用于硅料的酸浸泡，该装置具有酸浸泡、废酸收集、纯水浸泡、排酸雾的功能。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。 

具体实施方式

实施例，如图1所示，包括酸浸泡容器1和盖子2,其中酸浸泡容器1的底部设有纯水进水管5,酸浸泡容器1的一侧上端设有溢流槽6和溢流管7，浸泡容器1的另一侧上端设有排风管4,下端设有排酸管3。 

工作流程：把装好硅料的耐酸篮放入酸浸泡酸浸泡容器1内; 打开抽风装置，把酸液倒入酸浸泡容器1，打开排风管4，盖上盖子2，并用保鲜膜密封盖子周围，静置1~24小时；打开排酸管3用空酸桶收集酸液，把酸浸泡装置中的酸全部放出，并闭排酸管；打开纯水进水管5，纯水从溢流槽6溢出，从溢流管7排出纯水，直到硅料表面PH值呈中性为止；打开排酸管3，放出纯水，打开盖子2，取出硅料。