[实用新型]一种异形石英坩埚

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种石英坩埚，尤其涉及一种异形石英坩埚。

背景技术

随着科技的进步，市场对单晶硅的品质要求有着具体细化到对硅片的品质要求，而坩埚的品质就会直接影响到单晶硅的品质。现有技术中，一般都是为圆底的石英坩埚，在收尾时，液态长晶硅料在圆形坩埚底部剩余料较多，造成一定程度的浪费。于是，有人生产出了四边形的坩埚，一定程度上解决了锅底余料的浪费，但是，这对模具的要求甚高，且单面面积较大，收缩率也较大，对加热板的要求较高，不易控制。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决上述的技术问题，提供一种异形石英坩埚。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

一种异形石英坩埚，包括锅壁和锅底，所述锅壁和锅底为一整体，锅底为平面形，所述锅壁的横截面为正多边形。

进一步地，以上所述的一种异形石英坩埚，所述锅壁的横截面为正六边形或正八边形中的一种。

本实用新型的有益效果主要体现在：由于采用六边形的设计，相同的容量相对于四边形单面面积变小，对石膏模具的收缩率要求降低，同时也由于单面面积的缩小，对坯体含水率的要求也相对降低，且对加热板的收缩率要求降低，提高了热转换率。

附图说明

下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明：

图1：本实用新型的正六边形坩埚的锅壁横截面示意图。

图2：本实用新型的正八边形坩埚的锅壁横截面示意图。

图3：本实用新型石英坩埚的结构图

其中：

1、锅壁2、锅底

具体实施方式

本实用新型揭示了一种异形石英坩埚，包括锅壁1和锅底2，锅壁1和锅底2为一整体，锅底2为平面形，锅壁1横截面为正多边形。如图1所示，异形石英坩埚的锅壁1横截面为正六边形，如图2所示，锅壁1横截面也可为正八边形。

由于坩埚中得到的单晶硅在使用时还需要进行一定的分切，为了不造成材料的浪费，且使得更容易分配切割，本实用新型采用的正多边形，其边数为双数，不采用单数边，而如果采用正八边形以上的正多边形，使得坩埚的制造工艺繁琐，单面面积再小反而不能满足实用的要求。

该坩埚是用石英材料通过注浆烧结得到，先将原料石英材料投入造粒设备中湿法造粒，再将浆料充分搅拌放置后倒入压力装置，注入石膏模具，脱水脱模，最后干燥烧结，得到坩埚。

本实用新型与现有技术相比具有以下优点：由于采用六边形的设计，相同的容量相对于四边形单面面积变小，对石膏模具的收缩率要求降低，同时也由于单面面积的缩小，对坯体含水率的要求也相对降低，且对加热板的收缩率要求降低，提高了热转换率。

本实用新型尚有多种具体的实施方式，凡采用等同替换或者等效变换而形成的所有技术方案，均落在本实用新型要求保护的范围之内。