[实用新型]一种防腐蚀单晶炉下炉体

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种防腐蚀单晶炉下炉体，属于单晶硅的生产制造设备领域。

背景技术

单晶硅是具有基本完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导体材料，被广泛用于制造半导体器件和太阳能电池。目前单晶硅一般是采用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。普通的单晶炉一般由炉底、下炉体、上炉体、炉盖、隔离阀和副炉六大部分组成。在本实用新型做出之前，目前现有的单晶炉下炉体是用双层不锈钢材料制成，其内炉壁和外炉壁之间有水夹层，在单晶炉工作过程中，可以通过往水夹层中注水来降低炉壁的温度，增加下炉体的使用寿命。但是因为工业用水大多是自来水，自来水中含有大量的氯离子，氯离子对不锈钢炉壁会产生腐蚀作用，这会缩短下炉体的使用寿命。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种使用寿命长的防腐蚀的单晶炉下炉体。

本实用新型的目的是这样实现的：它包括上法兰、下法兰、外炉壁和内炉壁，所述外炉壁和内炉壁之间设置有水夹层，外炉壁上设置有与水夹层相连通的进水口和出水口，其特点是：所述外炉壁上还设置镁棒接口，所述镁棒接口与水夹层相连通，且镁棒接口中插接有镁棒。

所述镁棒接口位于外炉壁下部紧邻下法兰的位置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型一种防腐蚀单晶炉下炉体，其外炉壁上设置有镁棒接口，镁棒接口与水夹层相连通，镁棒接口中插有镁棒，单晶炉工作时需要通过对水夹层注水来降低炉体温度，但工业用水中存在的大量氯离子会与炉壁反应腐蚀炉壁，但由于镁是比铁更活泼的金属，所以在水夹层内插入镁棒后，镁棒能代替不锈钢下炉体与氯离子发生反应，提高了下炉体的耐腐蚀性，延长了下炉体的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型一种防腐蚀单晶炉下炉体的结构示意图。

其中：

上法兰1、出水口2、进水口3、下法兰4、镁棒接口5、镁棒6、外炉壁7、水夹层8、内炉壁9。

具体实施方式

参见图1，本实用新型涉及的一种防腐蚀单晶炉下炉体，它包括上法兰1、下法兰4、外炉壁7和内炉壁9，上法兰1用于连接单晶炉隔离阀，下法兰4用于连接单晶炉炉底，所述外炉壁7和内炉壁9之间设置有水夹层8，外炉壁7上设置有与水夹层8相连通的进水口3和出水口2，所述出水口2位于外炉壁7上部紧邻上法兰1的位置，所述进水口3位于外炉壁7下部紧邻下法兰4的位置，所述外炉壁7上还设置有用于插接镁棒的镁棒接口5，镁棒接口5与水夹层8相连通，所述镁棒接口5位于外炉壁7下部紧邻下法兰4的位置，且镁棒接口5内插接有镁棒6。

在单晶炉工作过程中，水通过下部进水口3进入水夹层8，对单晶炉下炉体进行冷却，降低炉壁温度。镁棒接口5内插接有镁棒6后，由于镁是比铁的更活跃的金属，所以镁棒将代替单晶炉上炉体中的铁与工业用水中的氯离子发生反应，减少氯离子对不锈钢炉壁的腐蚀。