[实用新型]一种单晶炉上炉体

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种单晶炉上炉体，属于单晶硅的生产制造设备领域。

背景技术

单晶硅是具有完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导体材料，目前被广泛用于半导体器件以及太阳能电池的制造。现有的单晶硅制造设备为单晶炉，其主要包括炉底、下炉体、上炉体、炉盖、隔离阀和副炉六大部分组成。在本实用新型做出之前，目前普遍采用的单晶炉的上炉体只有单层炉壁，由于单晶炉工作过程中炉体部分长时间处于高温状态，所以炉壁很容易损坏，单晶炉上炉体的使用寿命较短。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种使用寿命长的单晶炉上炉体。

本实用新型的目的是这样实现的：一种单晶炉上炉体，它包括上法兰和下法兰，其特征在于：上法兰和下法兰之间设置有由外炉壁和内炉壁组成的炉体，所述外炉壁和内炉壁之间设置有水夹层，外炉壁上设置有与水夹层相连通的出水口和进水口。

所述出水口位于外炉壁上部紧邻上法兰的位置，所述进水口位于外炉壁下部紧邻下法兰的位置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型一种单晶炉上炉体，它包括上下法兰以及由内外两层炉壁构成的炉体，内炉壁与外炉壁之间设置有水夹层，单晶炉工作时炉体温度较高，通过进水口对水夹层注水可以对上炉体进行冷却，降低炉壁的温度，提高上炉体的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型一种单晶炉上炉体的结构示意图。

其中：

上法兰1、出水口2、进水口3、下法兰4、外炉壁5、水夹层6、内炉壁7。

具体实施方式

参见图1，本实用新型涉及的一种单晶炉上炉体，它包括上法兰1、下法兰4，上法兰1用于连接单晶炉隔离阀，下法兰4用于连接单晶炉下炉体，上法兰1和下法兰4之间设置有由外炉壁5和内炉壁7组成的炉体，所述外炉壁5和内炉壁7之间设置有水夹层6，外炉壁5上设置有与水夹层6相连通的出水口2和进水口3，所述出水口2位于外炉壁5上部紧邻上法兰1的位置，所述进水口3位于外炉壁5下部紧邻下法兰4的位置。

在单晶炉工作过程中，水通过下部进水口3进入水夹层6，充满水夹层6后从上部出水口2流出，对单晶炉上炉体进行冷却，从而降低炉壁的温度。