[实用新型]外延设备

权利要求书

1.一种外延设备，其特征在于，包括：

一壳体，包括有一上壳体、一中壳体及一下壳体，由上而下依序结合；

一中央轴，贯穿该壳体的中央位置，以其外侧表面螺合于该下壳体，并于内部挖设有一轴内空间，该中央轴与该上壳体、该中壳体及该下壳体分别界定出一气体导流通道、一中部空间及一下部空间；

一流体管模块，包括有一外管、穿设该外管的三内管及一喷嘴结构，该喷嘴结构包括有独立的三喷气孔组、相连通的复数入水孔与出水孔，其中该三喷气孔组都各别环设复数个喷气孔，且该三喷气孔组对应连通于该三内管，该入水孔连通该外管，该出水孔连通该中央轴的该轴内空间；

一公转轴套，自由转动地套设在该中央轴；

一马达，耦接于该公转轴套；

复数承盘，自由转动地穿设在该公转轴套，其中该气体导流通道连通至该承盘的承载面并夹一锐角；

一外齿环，固设在该壳体内；以及

复数行星齿轮，对应套设在该复数承盘，并啮合于该外齿环。

2.如权利要求1所述的外延设备，其特征在于，其中该复数承盘下方设有一外环加热器。

3.如权利要求2所述的外延设备，其特征在于，其中该复数承盘下方设有一内环加热器，较该外环加热器更靠近该中央轴。

4.如权利要求1所述的外延设备，其特征在于，其中邻接该中部空间的该中壳体内侧壁面贴附有一隔热板。

5.如权利要求1所述的外延设备，其特征在于，其中邻接该中部空间的该中央轴外侧壁面贴附有一隔热板。

6.如权利要求1所述的外延设备，其特征在于，其中该中壳体包括有复数排气管道及一排气汇流环管，该复数排气管道分别连通该气体导流通道与该排气汇流环管。

7.如权利要求1所述的外延设备，其特征在于，包括有一惰气管连通于该下壳体的该下部空间。

8.如权利要求1所述的外延设备，其特征在于，包括有一温度感知器设置于该喷嘴结构旁。

9.如权利要求1所述的外延设备，其特征在于，其中该内环加热器与该外环加热器旁皆设置有一温度感知器。