[实用新型]一种多级干式真空泵机组的水冷系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种水冷技术，具体说是一种多级干式真空泵的水循环冷却系统。

背景技术

多级干式真空泵具有工作腔内无油，可以获得洁净真空， 适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。 随着半导体工业、电子工业的蓬勃兴起，对于真空环境的要求越来越多、越来越严格。干式真空泵不需要润滑油来润滑密封，做到了无油蒸汽污染，而且对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感。所以，由干式真空泵组成的真空系统得到了广泛的应用，并在半导体工业、电子工业的发展过程中起到了推动的作用。

由于在半导体和光伏等产业的工艺中，产生的气体温度都比较高。高温气体进入泵体内部，后气体将部分热量传给了干泵，同时由于多级干泵自身也不断压缩气体，产生大量热量，这些热量也有很大一部分传导到泵体上。经过多方面的热量传导干泵自身的温度就比较高，使得泵体内部的零部件由于高温而变形，不能达到良好的抽气效果，不能保证泵正常运行和人员安全，因此通过对泵体的冷却从而达到保护泵自身及使用人员的安全成为亟待解决的问题。

实用新型内容

为了解决干式真空泵冷却的问题，本实用新型的目的在于提供一种多级干式真空泵机组的水循环冷却系统。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种多级干式真空泵机组的水循环冷却系统，包括总进水管路、总出水管路、变频器水冷块、腔体水冷块、电磁阀和集水器，冷却水通过总进水管路进入，先冷却上下泵电机变频器水冷块，之后分为三路，一路冷却水流经多级干泵电机后进入齿轮腔上下表面腔体水冷块，最后进入电磁阀和集水器，由电磁阀控制通断汇入总出水管；一路冷却水进入罗茨泵电机后进入齿轮腔上下表面腔体水冷块，最后进入电磁阀和集水器，由电磁阀控制通断并汇入总出水管； 另一路直接接入电磁阀和集水器后由电磁阀集水器再分出两路，一路流经罗茨泵轴承腔、油箱和泵体下表面腔体水冷块进行冷却后进入电磁阀和集水器由电磁阀控制通断汇入总出水管路，一路流经多级干泵的腔体上下表面腔体水冷块进行冷却后进入电磁阀和集水器由电磁阀控制通断汇入总出水管路；

所述冷却水管路采用导热好的紫铜管制成，并嵌在铝制水冷块内，铝块与多级干泵表面之间涂有导热硅胶并采用螺钉固定；

所述进水管路和出水管路通过4个电磁阀和1个电磁阀集水器连接并控制，所述电磁阀设置在电磁阀和集水器组件上，每个电磁阀与各自的管路和电磁阀集水器相连接。

本实用新型的优点与积极效果为：

1．本实用新型对两个电机的变频器水冷，罗茨泵电机、多级泵电机、罗茨泵和多级干泵可以选择冷却；

2．本实用新型采用4个电磁阀和一个电磁阀集水器控制进水和出水节约空间；

3．本实用新型水冷管采用紫铜管，水冷管与泵表面接触部分采用铜管镶嵌在铝块内方式，铝块与多级干泵表面之间涂有导热硅胶并采用螺钉固定，传热效果好；

4．本使用新型可以有效地降低泵体的温度，保证泵的正常运行保证人员安全。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

其中：1电磁阀和集水器，2总出水管路，3总进水管路，4多级干泵电机，5变频器水冷块，6罗茨泵电机，7腔体水冷块 。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详述。

如图1所示，冷却水通过总进水管路3进入，先冷却上下泵电机变频器水冷块5，这样保证任何情况下变频器都得到冷却，之后分为三路，一路冷却水流经多级干泵电机4后进入齿轮腔上下表面腔体水冷块7，最后进入电磁阀和集水器1，由电磁阀控制通断汇入总出水管2；一路冷却水进入罗茨泵电机6后进入齿轮腔上下表面腔体水冷块7，最后进入电磁阀和集水器1，由电磁阀控制通断并汇入总出水管2；由于齿轮腔发热量也比较大所以这里也对其进行水冷

另一路直接接入电磁阀和集水器1后由电磁阀集水器再分出两路，一路流经罗茨泵轴承腔、油箱和泵体下表面腔体水冷块7进行冷却后进入电磁阀和集水器1由电磁阀控制通断汇入总出水管路，一路流经多级干泵电机4的腔体上下表面腔体水冷块7进行冷却后进入电磁阀和集水器1由电磁阀控制通断汇入总出水管路。

所述进水管路和出水管路通过4个电磁阀和1个电磁阀集水器连接并控制，所述电磁阀设置在电磁阀和集水器1组件上，每个电磁阀与各自的管路和电磁阀集水器相连接。

本实用新型在抽气过程中可以有效地降低泵体的温度，保证泵的正常运行保证人员安全，可广泛的应用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业使用的干式真空泵机组中。