[实用新型]探针卡检测系统有效
| 申请号： | 201020636329.4 | 申请日： | 2010-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN201897468U | 公开（公告）日： | 2011-07-13 |
| 发明（设计）人： | 郝亚慧 | 申请（专利权）人： | 京隆科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/03 | 分类号： | G01B11/03;G01B11/30;G01R35/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 215123 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探针 检测 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种探针卡检测系统，其特征在于，用于检测一探针卡的堪用度，该检测系统包括：
一机台，设置有一上方三轴位移机构；
一载放座，架设于该机台；
一数据库，存有一数据文件，该数据文件包括有对应该探针卡上多个区域的多根探针XY坐标信息的多组基准数据；
一影像撷取装置，固定于该上方三轴位移机构；
一三轴光学尺，固定于该上方三轴位移机构；以及
一控制器，电性连接于该数据库、该影像撷取装置及该三轴光学尺。
2.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，该载放座是枢设于该机台。
3.如权利要求2所述的检测系统，其特征在于，还包括与该控制器电性连接的一上方电性量测头与一下方电性量测头及一下方三轴位移机构，该上方电性量测头固定于该上方三轴位移机构，该下方电性量测头固定于该下方三轴位移机构。
4.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，还包括一警示器与该控制器电性连接。
5.如权利要求4所述的检测系统，其特征在于，该警示器为一蜂鸣器。
6.如权利要求4所述的检测系统，其特征在于，该警示器为一发光装置。
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