[实用新型]一种坐标法测绘氢化炉多孔底盘孔位的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种测量装置，尤其是涉及一种坐标法测绘氢化炉多孔底盘孔位的装置。

背景技术

近年来，随着多晶硅行业的蓬勃发展，多晶硅氢化炉作为改良西门子法制备多晶硅的主要设备之一，得到了广泛的应用。多晶硅氢化炉运行时，炉内温度一般为1100℃～1500℃，并伴随着大量的H₂、SiHCl₃、SiCl₄等工作介质。为降低能耗，更好的保护不锈钢炉底盘，常用的办法是在炉底盘上放置一个炭/炭复合材料隔热底板，由于不锈钢底盘上会有若干个电极引出孔，为确保装配，炭/炭复合材料隔热底板的设计过程中开孔位置必须与不锈钢炉底盘的位置完全吻合。但是多晶硅氢化炉安装完毕后，炉底盘拆装的工作量极大，想进行炉底盘孔位的测绘，传统方法为将炉底拆卸在龙门式三坐标测量设备上测绘孔位，但实际操作难度很大。另外一种方法为用便携式三坐标测量设备进行测绘，但目前为止便携式三坐标测量设备大多局限在军用领域，可提供现场测绘服务的民用公司很难找到。而且，目前便携式三坐标测量设备的价格较高，测绘购买设备会大幅增加成本。

目前国内进口的多晶硅氢化炉主要由德国、美国、俄罗斯生产，国外厂家提供成套设备但不提供制造图纸，厂方进行的完善设计或设计更改不告知设备购置方，出现过国内某多晶硅生产厂家从国外某厂商购置的同一规格同一型号的多晶硅氢化炉底盘孔位不完全相同的情况，造成在国内定制的炭/炭复合材料隔热底板无法正常使用的后果，延误生产进度。为解决以上问题，提出了低成本、易操作的方法对每台外购多晶硅氢化炉底盘进行孔位测绘的需求。

截止到2010年11月，国内进口的多晶硅氢化炉主要由德国、美国、俄罗斯生产，加热器主要有16对，18对，24对棒，即炉底盘分别为32个孔，36个孔，48个孔，炉底盘上孔的分布呈一定规律。经过综合分析，目前国内所有进口设备都一个共同特性，即：每一个氢化炉底盘上总能找到4个孔，对应2个孔的连线互相垂直，如果把互相垂直的两条线分别定义为X轴、Y轴，在炉底盘上就构件了一个虚拟的平面直角坐标系，以此为指导思想，设计了坐标法测绘氢化炉多孔底盘孔位的装置。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种坐标法测绘氢化炉多孔底盘孔位的装置，其结构简单，设计新颖合理，使用操作便捷，测绘数据准确，制造成本低，通用性好，测绘效率高，使用效果好，便于推广使用。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种坐标法测绘氢化炉多孔底盘孔位的装置，其特征在于：包括安装在被测底盘孔内的中心定位块、定位塞块和自由被测块，以及固定在中心定位块和定位塞块上端的连接成直角坐标系的Y坐标板和X坐标板，所述Y坐标板和X坐标板通过定位销与定位塞块相固定；所述中心定位块由与被测底盘的中心孔相配合的圆柱体一、设置在圆柱体一顶端的定位凸台和设置在定位凸台顶端的定位柱一构成，所述圆柱体一的上部外圆上设有凸沿一，所述中心定位块安装在被测底盘的中心孔内；所述定位塞块由与被测孔相配合的圆柱体二和设置在圆柱体二的上部外圆上的凸沿二构成，所述圆柱体二的圆心部位处设置有用于安装定位销的通孔，所述定位塞块为安装在被测孔内且分别位于中心定位块上下左右四个方向上的上定位塞块、下定位塞块、左定位塞块和右定位塞块；所述自由被测块由与被测底盘上的孔相配合的圆柱体三、设置在圆柱体三的上部外圆上的凸沿三和设置在圆柱体三顶端的定位柱二构成，所述自由被测块自由放置在被测底盘上的任一被测孔内；所述Y坐标板和X坐标板均为长条状，所述Y坐标板的两端和X坐标板的两端均设置有用于安装定位销的长条形定位槽，所述Y坐标板的中间设有与定位凸台相配合的定位槽，所述Y坐标板的中部通过矩形定位槽与中心定位块相接且Y坐标板的两端端部分别通过定位销固定在上定位塞块和下定位塞块上，所述X坐标板的中间设有与定位柱一相配合的定位孔，所述X坐标板的中部通过定位孔与中心定位块相接且X坐标板的两端端部分别通过定位销固定在左定位塞块和右定位塞块上。

上述的一种坐标法测绘氢化炉多孔底盘孔位的装置，所述定位销由与通孔及长条形定位槽相配合的销体和同轴设置在销体上部的定位销头部构成，所述销体和定位销头部均为圆柱形，所述定位销头部与销体的同轴度误差不大于0.01mm。

上述的一种坐标法测绘氢化炉多孔底盘孔位的装置，所述中心定位块为整体结构，所述圆柱体一、定位凸台和定位柱一同轴设置。

上述的一种坐标法测绘氢化炉多孔底盘孔位的装置，所述自由被测块为整体结构，所述圆柱体三和定位柱二同轴设置。