[实用新型]一种油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种油扩散泵用的冷阱，更具体地说，涉及一种油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱。

背景技术

真空镀膜机若采用扩散泵为主抽泵的抽气机组，在扩散泵上接口通常会连接冷阱，然后连接高真空阀，进而连接节流阀，再与镀膜室连接。

冷阱的作用是将扩散泵逆扩散到镀室方向的油蒸汽强制冷凝成油滴流回扩散泵，防止“返油”避免污染镀室以及泵油耗损致使扩散泵不能正常工作。现有冷阱一般采用一组焊在冷却水管上的与泵轴线成一定倾角的遮挡片，排满冷阱口径上，挡住油蒸汽外溢，有单层也有两层、三层结构，各层的遮挡片倾角方向交错。高效冷阱则采用深冷介质代替水冷，如用液氮或环保型氟利昂代替品等，连通制冷设备运行。

节流阀的作用是调控抽气速率以保证镀膜时镀室内的气压稳定在工艺要求的范围内。现有的节流阀一般釆用百叶窗式或转动挡板式两类，它安装在镀室抽气口附近，以转动百叶窗的叶片倾角或转动挡板的角度来控制抽气口的开关程度，达到对镀室的抽气速率调节。镀膜时往往会通入工作气体和反应气体，除了控制通入气体的流量外，调控抽气速率也是稳定镀室气氛的重要手段，所以节流阀是不可或缺的。

现有真空镀膜机的冷阱和节流阀两者是分立的部件，而且一般把节流阀安装在镀室抽气口附近，这种配置有两个缺点：其一，分立的节流阀占据了抽气管道一段空间，增加了抽气管道长度，即增加了气阻；其二，节流阀贴近镀室，在镀膜时一般都会在一定程度关闭节流阀，则在节流阀前后形成较大的压力差，这导致镀室抽气口附近的一个区域比远离此区域的气体流动更杂乱、不稳定，此区域成为潜在的镀膜工艺不稳定区。为了克服上述缺点，一要设计更紧凑实用的节流阀，二要让节流阀远离镀室抽气口。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种结构紧凑、气阻小并且可以保证镀膜区域气流稳定的油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱。

本实用新型的上述目的可以通过如下的技术手段加以实现：一种油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱，包括冷阱体，上法兰和下法兰，所述组合冷阱还包括冷却装置和节流阀，所述下法兰安装在冷阱体的下端，上法兰安装在冷阱体的上端，所述冷却装置和节流阀由下而上依次安装在冷阱体的内部。

所述的冷却装置为固定安装在冷阱体内部的水冷遮挡组件，所述水冷遮挡组件安装在冷阱体的内壁下端。

所述的冷却装置也可以为固定安装在冷阱体内部的低温冷凝组件，所述低温冷凝组件安装在冷阱体的内壁下端。

所述的冷却装置为还可以为固定安装在冷阱体内部的水冷遮挡组件和低温冷凝组件，所述水冷遮挡组件固定安装在冷阱体的内壁下端，所述低温冷凝组件固定安装在冷阱体的内部、所述水冷遮挡组件和节流阀之间。

所述的水冷遮挡组件包括多个水冷遮挡单元,所述水冷遮挡单元包括冷却水管和遮挡片，所述遮挡片固定在冷却水管上，多个水冷遮挡单元平行安装在冷阱体内壁下端构成水冷遮挡组件。

所述遮挡片采用焊接的方式固定在冷却水管上。

所述的低温冷凝组件为可流通深冷介质的冷凝盘管。

所述的冷凝盘管为铜质水管。

所述节流阀为百叶窗式结构，所述节流阀包括中间开孔的的闭合板、节流板、连杆、转动轴和密封座，所述闭合板固定在所述冷阱体的内壁上部，所述节流板通过转动轴安装在闭合板的开孔内，节流板固定安装在转动轴上并且彼此平行，所述转动轴通过连杆连接并且可以同步联动，其中一根转动轴穿出冷阱体,这根转动轴通过安装在冷阱体外壁上的密封座连接外延轴。

本实用新型的有益之处在于：1.节流阀不再需要额外占据抽气管道空间，缩短了抽气管道长度，从而可以有效减小气阻；其二，节流阀与冷阱组合安装在一起，远离镀室抽气口，可以有效避免镀室抽气口附近区域气流的不均匀和不稳定，从而保证镀膜工艺的稳定。 

附图说明

下面结合附图说明与具体实施例对本实用新型做进一步的说明。

图1 是本实用新型其中一个实施例的立体图（冷阱体部分剖开）。

具体实施方式