[实用新型]离子镀膜机用夹具无效
| 申请号: | 201020596718.9 | 申请日: | 2010-11-01 |
| 公开(公告)号: | CN201842887U | 公开(公告)日: | 2011-05-25 |
| 发明(设计)人: | 金梁 | 申请(专利权)人: | 金梁 |
| 主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 321200 浙江省武义县熟*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 离子 镀膜 夹具 | ||
(一)技术领域
本实用新型涉及镀膜设备技术领域,特别涉及一种离子镀膜机用夹具。
(二)背景技术
传统的离子镀膜机中,待镀件的夹具是连接在大转盘上的各个转轴上,所使用的夹具整体是随大转盘旋转,同时大转盘上的转轴又有转动,待镀件的夹具又是绕着转轴旋转,虽然有两种旋转轨迹,但待镀件相对的内外侧立体位置不会变,导致镀膜过程中,待镀件上不同部位所沉积的离子膜厚度不一,离子膜均匀性差,镀膜效果不理想,不能满足使用的要求。
(三)发明内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种离子镀膜机用夹具,离子膜均匀,镀膜效果好。
为此,本实用新型采取以下技术方案:
一种离子镀膜机用夹具,包括有支撑板、贯穿支撑板并与之固接的联轴、套接在所述联轴上的大齿轮,所述大齿轮位于支撑板的上方,所述支撑板上还设有若干圆周分布的小齿轮,所述小齿轮与大齿轮啮合匹配;所述联轴可拆卸地安装在离子镀膜机的转轴上,所述大齿轮上固接有挡销,所述挡销与离子镀膜机上相邻转轴的挡块相抵配合;所述支撑板的下方设有定位待镀件的连接环,所述连接环与所述小齿轮的齿轮轴固接。
所述小齿轮轴与连接环一体成型。
所述联轴中段设有与支撑板固接的限位套,所述限位套的两端分别设有紧固螺丝。
本实用新型的优点是:1、联轴转动,使大齿轮上的档销与离子镀膜机的挡块相抵驱使大齿轮转动,与之啮合的小齿轮即随之转动,从而使定位待镀件的连接环转动,待镀件具有了三种运动轨迹,满足了待镀件离子膜均匀性要求,从而有效提高了成膜质量;2、结构简单、制作成本低、使用效果好。
(四)附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为本实用新型立体图。
(五)具体实施例
参照附图1-2,一种离子镀膜机用夹具,包括有支撑板1、贯穿支撑板并与之固接的联轴2、套接在所述联轴上的大齿轮3,所述大齿轮位于支撑板的上方,所述支撑板上还设有若干圆周分布的小齿轮4,所述小齿轮与大齿轮啮合匹配;所述联轴可拆卸地安装在离子镀膜机11的转轴12上,所述大齿轮上固接有挡销5,所述挡销与离子镀膜机上相邻转轴的挡块6相抵配合;所述支撑板的下方设有定位待镀件7的连接环8,所述连接环贯穿支撑板与所述小齿轮的齿轮轴固接,当然,此处也可以采用小齿轮的齿轮轴贯穿支撑板与连接环固接的方式。所述小齿轮轴与连接环一体成型。所述联轴中段设有与支撑板固接的限位套9,所述限位套的两端分别设有紧固螺丝10。
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