[实用新型]一种用于生产薄膜太阳能电池的化学气相沉积系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种化学气相沉积系统，尤其涉及一种用于生产薄膜太阳能电池的电极的低压化学气相沉积系统。

背景技术

薄膜太阳能电池在弱光条件下仍可发电，其生产过程能耗低，具备大幅度降低原材料和制造成本的潜力。因此，目前市场对薄膜太阳能电池的需求正逐渐增长，而制造薄膜太阳能电池的技术更成为近年来的研究热点。

薄膜太阳能电池的制造过程是在衬底（如玻璃基板）上沉积多层薄膜以形成电极，因此需要一整套的化学气相沉积系统。如沉积透明薄膜电极时，就需要一个低压化学气相沉积系统来实现。

如图1所示，图1是现有技术中低压化学气相沉积系统的结构示意图。该低压化学气相沉积系统1为直线型系统，包括呈直线型依次排列的加载台11、第一承载室12、多个低压化学气相沉积反应室13、第二承载室14和卸载台15。其中，为防止衬底在加载时受到污染，加载台11设置在洁净度较高的第一区域101；而第一承载室12、多个低压化学气相沉积反应室13、第二承载室14和卸载台15则设置于第二区域102。

薄膜太阳能电池的电极沉积过程为：衬底在第一区域101内通过加载台11加载到化学气相沉积系统中，加载后的衬底在第一承载室12内进行预处理，包括对该第一承载室12抽真空，喷入气体对衬底进行清洁，保持衬底的真空洁净度，并对衬底进行加热处理，随后将衬底依次送入所述的多个沉积反应室13中，该沉积反应室13在真空状态下保持一定的温度和压强，通过通入反应气体，在衬底表面沉积多层薄膜，最后经过第二承载室14，沉积完成后的衬底和薄膜在这个第二承载室14中完成真空和大气之间的工作环境的切换，并且冷却衬底和薄膜后，通过卸载台15卸载沉积有薄膜的衬底。

为防止沉积有薄膜的衬底受到污染，需要将该沉积有薄膜的衬底传输送回到洁净度要求较高的第一区域101，因此所述的低压化学气相沉积系统需要另外再设置一个回传机构16（如图1所示），将已经沉积有薄膜的衬底由卸载台15传输回到位于第一区域101内。

如上所述的现有技术的低压化学气相沉积系统，需要设置有专门的回传机构16，该回传机构16的长度基本等于整个低压化学气相沉积系统的长度，极大的增加了整个系统的制造成本，也增大了系统的占地面积，不能满足低压化学气相沉积系统低成本化、集约化的要求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于生产薄膜太阳能电池的化学气相沉积系统，以解决现有技术中需要设置专门的回传机构，使得化学气相沉积系统制造成本高、占地面积大的问题。

本实用新型的技术方案是提供一种用于生产薄膜太阳能电池的化学气相沉积系统，跨越设置在洁净度不同的第一区域和第二区域，其中，第一区域的洁净度高于第二区域；该化学气相沉积系统包含依次连接的加载台、第一承载室、多个化学气相沉积反应室、第二承载室和卸载台；特点是：

所述的化学气相沉积系统整体呈弓形设置；其中，

所述的加载台和卸载台设置在第一区域中；

所述的第一承载室、多个化学气相沉积反应室和第二承载室设置于第二区域中。

其中，所述的加载台与第一承载室依次连接构成第一部分，即为该弓形化学气相沉积系统的其中一个弓翼部分；

所述的卸载台与第二承载室依次连接构成第三部分，即为该弓形化学气相沉积系统的另一个弓翼部分；

所述的至少一个化学气相沉积反应室作为中间连接反应室构成第二部分，即为该弓形化学气相沉积系统的弓身部分。

进一步，所述的化学气相沉积系统的第一部分还包含依次连接的多个首部化学气相沉积反应室，其设置在第一承载室与中间连接反应室之间，位于第二区域。

所述的化学气相沉积系统的第三部分还包含依次连接的多个尾部化学气相沉积反应室，其设置在第二承载室与中间连接反应室之间，位于第二区域。

在所述的加载台与第一承载室之间、第一承载室与首个化学气相沉积反应室之间、卸载台与第二承载室之间、以及第二承载室与最后一个化学气相沉积反应室之间均设置有隔离阀门。

所述的化学气相沉积反应室是低压化学气相沉积反应室。

所述的第二区域内设置维修区域，该维修区域被所述的弓形化学气相沉积系统围设形成。

在上述的用于生产薄膜太阳能电池的化学气相沉积系统中，由于该化学气相沉积系统整体设置为弓形，因此其加载台和卸载台都设置在洁净度较高的第一区域中，因而无需设置专门的回传机构将沉积有薄膜的衬底回传至第一区域，即可在卸载台内直接卸载沉积有薄膜的衬底，保证衬底在沉积过程中不受污染的同时也降低了系统的生产成本。