[实用新型]基板对位装置、基板传送平台及系统

权利要求书

1.一种基板对位装置，包括：

安装支架；

气缸体，固定在所述安装支架上，所述气缸体上设置有第一进气口，且所述气缸体的下部设置有滑块导轨；

活塞运动部件，一端设置在所述气缸体内，另一端连接基板对位针；

滑动部件，固定连接在所述活塞运动部件的下底面，所述滑动部件的上表面与所述滑块导轨滑动连接；

其特征在于，还包括：

数个制动孔，设置在所述滑动部件的上表面，且位于所述活塞运动部件的侧边；

制动装置，固定设置在所述制动孔的上方，所述制动装置中设置有制动插头，所述制动插头与所述制动孔相对。

2.根据权利要求1所述的基板对位装置，其特征在于，所述制动装置包括活塞体，所述活塞体中设置有制动弹簧和制动插头，所述制动插头包括连接所述制动弹簧的第一端和用于插入所述制动孔的第二端，所述第一端形状与所述活塞体的截面形状相同，所述第二端与所述制动孔相对；所述活塞体上还设置有第二进气口。

3.根据权利要求1所述的基板对位装置，其特征在于，所述活塞运动部件的数量为两个，两个所述活塞运动部件之间具有活塞间隙；所述数个制动孔设置在所述活塞间隙处。

4.根据权利要求1所述的基板对位装置，其特征在于，所述制动装置固定设置在所述气缸体上。

5.根据权利要求2所述的基板对位装置，其特征在于，所述第二进气口的数量为两个，且两个所述第二进气口分设于所述第一端的两侧。

6.根据权利要求1～5任一所述的基板对位装置，其特征在于，所述安装支架上设置有活塞运动部件行程调节装置，所述活塞运动部件行程调节装置可调式连接于所述安装支架上。

7.根据权利要求6所述的基板对位装置，其特征在于，所述滑动部件的与所述基板对位针相对的端部设置有滑动部件行程挡板；所述活塞运动部件行程调节装置的端部与所述滑动部件行程挡板相抵对。

8.一种基板传送平台，包括平台支架，其特征在于，所述平台支架上设置有权利要求1～7任一所述的基板对位装置；所述基板对位装置中的安装支架固定在所述平台支架上。

9.根据权利要求8所述的基板传送平台，其特征在于，所述平台支架上设置有多个支持针。

10.根据权利要求9所述的基板传送平台，其特征在于，所述支持针的头部安装有滚珠头。

11.一种基板传送系统，包括基板传送轨道和基板传送平台，其特征在于，所述基板传送平台为权利要求8～10任一所述的基板传送平台。