[实用新型]一种多台多晶炉并联运行真空系统无效
| 申请号： | 201020591715.6 | 申请日： | 2010-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN201882916U | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 钱其峰 | 申请（专利权）人： | 浙江芯能光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/021 | 分类号： | C01B33/021 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 吴关炳 |
| 地址： | 314400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 并联 运行 真空 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种多台多晶炉并联运行真空系统，其中多晶铸锭炉和真空机组一一对应，所述真空机组包括机械泵和罗茨泵，其特征在于，它至少包括二台多晶铸锭炉和二组真空机组，所述的各组真空机组的机械泵分别通过主管道与对应的一台多晶铸锭炉连通，并且每组真空机组的机械泵均分别通过管道经阀门连接至并联总管道而与各台多晶铸锭炉连通。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江芯能光伏科技有限公司，未经浙江芯能光伏科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201020591715.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种蚂蚁阻隔器
- 下一篇：基于CAN传输的汽车限速报警装置
